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Microscopic pressure sensor for MEMS package

Capteurs

Les capteurs jouent un rôle crucial pour garantir la sécurité, la fiabilité et l’efficacité dans toute une gamme d’applications, des capteurs de pression aux capteurs de positionnement. Ces applications exigent des matériaux capables d’offrir des performances exceptionnelles dans des environnements difficiles. Avec des décennies d’expertise dans le domaine de l’emballage électronique, SCHOTT est parfaitement adapté pour répondre aux besoins rigoureux des applications de capteurs.
Industrial Pressure Sensor; Manometric Thermometer.

Capteurs de pression

Les capteurs de pression sont largement utilisés dans les applications de semiconducteurs. Ils surveillent et régulent les pressions dans les chambres à vide (par exemple, pendant la gravure ou le CVD), les systèmes de distribution de gaz et les lignes de pompage afin de garantir des conditions précises pour le traitement des plaquettes. De plus, ils détectent les fuites et maintiennent la stabilité dans des outils tels que les scanners de lithographie et les graveurs plasma.

Produits
Industrial machine actuators

Actionneurs

Dans la fabrication de semi-conducteurs, les actionneurs permettent un contrôle de mouvement de précision, un positionnement et une automatisation dans divers processus tels que la manipulation de plaquettes, la lithographie, la gravure et l’inspection. Les boîtiers hermétiques protègent les actionneurs piézoélectriques des régulateurs de débit massique des gaz corrosifs, de l’humidité et de la poussière, garantissant ainsi une précision à long terme dans la fabrication des semi-conducteurs. L’étanchéité hermétique de SCHOTT prévient les dommages, réduit la dérive et prolonge la durée de vie des actionneurs, permettant une production fiable et à haut rendement dans des environnements ultra-propres.

Produits
Technician repairing engine component

Capteurs de gaz

Les capteurs de gaz sont importants pour garantir le rendement, la sécurité et la conformité dans la fabrication de semi-conducteurs. Par exemple, les capteurs de gaz peuvent détecter les gaz toxiques et inflammables du processus de fabrication et vérifier la qualité de l’air dans les salles blanches. Les capteurs de gaz avec boîtiers hermétiques et traversée SCHOTT ont amélioré les performances et la fiabilité.

Produits
A closeup shot of a chemical vapor deposition CVD chamber, which is used to deposit thin films of material onto the wafer surface.

Capteur de température

Pour la fabrication de semi-conducteurs, un contrôle et une surveillance précis de la température sont essentiels pour garantir des dispositifs à semi-conducteurs fiables et de haute qualité. La détection de température par fibre optique fournit des relevés de température à distance très précis dans cet environnement difficile. Par exemple, la détection de température par fibre optique peut être une option dans les machines de dépôt de couches, où la surveillance de la température est cruciale pour s’assurer que les couches déposées répondent aux spécifications.

Produits
Silicon Wafer during Photolithography Process.

Capteur de positionnement

En photolithographie, nous concevons des solutions de fibre optique pour les systèmes d’alignement et de superposition qui garantissent l’alignement précis des différentes couches, ce qui est essentiel pour le fonctionnement des dispositifs.

Produits
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