MEMpax®

Sa gamme unique de propriétés remarquables fait de MEMpax® un produit de choix pour un large éventail d’applications. La durabilité lors du traitement, l'aptitude au collage à haute température, une gamme étendue de tailles et sa disponibilité dans des épaisseurs faibles inégalées font du verre MEMpax® un matériau se démarquant véritablement.

Une grande durabilité dans des épaisseurs extrêmement faibles

Résistance chimique exceptionnelle

Comme le très novateur BOROFLOAT® de SCHOTT, le MEMpax® offre la plus grande durabilité chimique, ce qui lui permet de résister aux conditions les plus agressives pendant le traitement et l’application. En raison de sa composition en verre, le MEMpax® est également un isolant électrique de haute qualité.

Conçu pour le bonding

Le MEMpax® présente un coefficient de dilatation thermique (CTE) qui correspond à celui d'un wafer de silicium, ce qui permet d'obtenir des contraintes très faibles lors de liaison anodique du verre sur les wafers en silicium. La rugosité extrêmement faible de sa surface (généralement Ra ≤ 0,5 nm) facilite encore plus ce processus.

Les longueurs d’ondes avec lesquelles vous pouvez travailler

Comme le verre BOROFLOAT®, le MEMpax® présente une transmission élevée dans la gamme de longueurs d’ondes visibles, y compris dans la gamme UV. Le matériau convient donc parfaitement au décollement par UV dans les procédés liés aux semi-conducteurs.

Formes, tailles et épaisseurs adaptées

Le Groupe SCHOTT est fier de pouvoir collaborer avec ses clients afin de répondre au mieux à leurs besoins, et nos wafers en verre ne font pas exception. Disponibles dans des formes personnalisées ainsi que dans des formats ronds standard, les tailles varient entre 2 et 12 ", avec des épaisseurs allant de 0,07 à 0,55 mm.

Propriétés des matériaux

 

1. Propriétés optiques

Propriétés optiques Valeur
Indice de réfraction* ng 1,4803
Indice de réfraction* nF 1,4768
Indice de réfraction* nF 1,4765
Indice de réfraction* ne 1,4732
Indice de réfraction* nd 1,4715
Indice de réfraction* nD 1,4714
Indice de réfraction* nC' 1,4696
Indice de réfraction* nC 1,4693
Valeur Abbe νe 65,4
Constante photoélastique en (nm/cm)/Mpa 39,8
 

* Indices de réfraction : Prétraitement des échantillons.
État à la livraison [« tel que dessiné »] 

 

2. Propriétés thermiques

Propriétés thermiques générales Unité Valeur
Coefficient de dilatation thermique α  10-6·K-1 (20 °C ; 300 °C)  3,26 
Capacité thermique spécifique moyenne cp en J/(g·K)(20 °C ; 100 °C) 0,82
Température de transformation Tg en °C 532

 

Viscosités lg ŋ de viscosité en dPas Température en °C
Point de tension 14,5 528
Température supérieure de recuit 13,0 570
Température de ramollissement 7,6 831

 

3. Propriétés mécaniques

Propriétés mécaniques
Unité Valeur
Densité ρ en g/cm³ 2,22
Module E de Young en kN/mm² 62,7
Rapport de Poisson μ 0,196
Module de torsion G en kN/mm² 26,2
Dureté Knoop HK 0,1/20 430
Dureté Vickers HV 0,2/25 510

 

Renforcement chimique (pour épaisseur = 0,2 mm)

Unité
Valeur
 Θ de température en °C 430
Temps t en h 4
Contrainte de compression (CS) en MPa 120
Profondeur de la couche (DoL) en μm 8

 

4. Propriétés chimiques

Classe de résistance hydrolytique conformément à ISO 719 Valeur
Catégorie HGB 1
Équivalent alcalin par gramme de grains de verre en μg/g < 31

 

Résistance aux acides (selon DIN 12116) Valeur
Catégorie S 1
Demi-perte de poids en surface après 6 heures en mg/dm² 0,16

 

Résistance aux alcalins (selon DIN ISO 695) Valeur
Catégorie A 2
Perte pondérale en surface après 3 heures en mg/dm² 132

 

5. Propriétés électriques

Constante diélectrique εr (à ϑ = 25 °C) Valeur
à 1 MHz 4,8
à 1 GHz 4,4
à 2 GHz 4,5
à 5 GHz 4,4
à 24 GHz 4,4
à 77 GHz  4,4 

 

Facteur de dissipation tan δ (à ϑ = 25 °C)
Valeur
à 1 MHz 38 · 10-4
à 1 GHz 58 · 10-4
à 2 GHz 62 · 10-4
à 5 GHz 73 · 10-4
à 24 GHz 100 · 10-4
à 77 GHz  150 · 10-4 

 

Résistivité volumique électrique ρD en courant continu en Ω·cm
1,18 ·108 (ϑ = 250 °C)
4,24 ·106 (ϑ = 350 °C)

 

6. Valeurs de transmission

Transmission spectrale (250 - 3 150 nm)

Diagramme présentant la transmission spectrale du verre borosilicate MEMPax® (250-3 150 nm)

 

Transmission spectrale (250 - 500 nm)

Diagramme présentant la transmission spectrale du verre borosilicate MEMPax® (250-500 nm)

 

Longueur d’onde en nm pour une épaisseur de 0,2 mm : τ (λ) en %
254 28
380 92,4
632,8 92,8
1064 92,7

 

Longueur d’onde du bord λc (τ = 0,46) à une épaisseur en mm Longueur d’onde en nm
0,2 269 
0,3  279 
0,5  283 
0,7  288 

 

Transmission lumineuse pour une épaisseur en mm τvD65en %
0,2 92,8
0,5  92,8 

 

Produits MEMpax®

SCHOTT MEMpax® est disponible sous forme de :

  • Substrats et wafers non polis
  • FLEXINITY®

Pour en savoir plus, veuillez consulter les produits associés sur la page de présentation.

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