FOTURAN® II
Extrem feine, fortschrittliche Strukturierung
FOTURAN® II ist ein photostrukturierbares Glas, dessen durch UV-Bestrahlung und Wärmebehandlung kristallisierte Bereiche geätzt werden können, um eine besonders feine Strukturierung mit hohem Aspektverhältnis zu erzeugen – bei Bedarf in kundenspezifischen 3D-Formen. Nach einem zweiten Belichtungs- und Vorspannprozess kann FOTURAN® II auch in eine opake Glaskeramik umgewandelt werden.
Anpassbar an Halbleiterverpackungen
Fein strukturierte FOTURAN® II Substrate erfüllen bei Halbleiter- und Packaging-Prozessen eine sehr nützliche Funktion. Die Strukturierung kann ohne den Einsatz von Photoresist erreicht werden und kann mit den in der Halbleiterindustrie üblichen Geräten verwendet werden, wodurch der Arbeitsaufwand und die zusätzlichen Kosten minimiert werden.
Ausgezeichnete technische Eigenschaften
FOTURAN® II besticht durch eine Vielzahl von technischen Eigenschaften, die für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet sind. Es handelt sich um eine hochgradig gleichmäßige Glaskeramik dank des kontinuierlichen Schmelzprozesses bei der Herstellung, während es einen niedrigen TTV, geringe Rauheit und eine niedrige Fehlerrate bei einer Reihe von Dicken, einschließlich extrem dünner Waferform, bietet. Die Strukturierung mit FOTURAN® II Wafer ist einfach mit Standard-Halbleiteranlagen möglich, wobei diese Strukturen gleichmäßige Eigenschaften und Leistungssicherheit bieten.
