MEMpax®
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MEMpax®

Una gama única de propiedades excepcionales convierten a MEMpax® en un producto de referencia para una amplia variedad de aplicaciones. La resistencia que presenta en el procesado, su idoneidad para la unión a altas temperaturas, una gran variedad de tamaños y su amplia e inigualable gama de espesores hacen que MEMpax® realmente destaque.

Gran durabilidad con espesores extraordinariamente reducidos

Excelente resistencia química

Al igual que el innovador BOROFLOAT® de SCHOTT, MEMpax® ofrece una resistencia química máxima, lo que le permite soportar las condiciones más agresivas durante el procesado y la aplicación. Gracias a su composición vítrea, MEMpax® también es un aislante eléctrico de alta calidad.

Construido para ser unido

MEMpax® tiene un coeficiente de dilatación térmica que coincide con el de una oblea de silicio, lo cual hace que el nivel de tensiones en la unión anódica del vidrio con las obleas de silicio sea muy bajo. La rugosidad extraordinariamente baja de su superficie (normalmente Ra ≤ 0,5 nm) facilita aún más este proceso.

Longitudes de onda con las que puede trabajar

Al igual que BOROFLOAT®, MEMpax® presenta una alta transmisión en el rango que desde el visible hasta bien entrado el UV. Esto hace que el material sea idóneo para el debonding ultravioleta en el procesado de semiconductores.

Formas, tamaños y espesores adaptados

SCHOTT se enorgullece de trabajar codo con codo con los clientes para satisfacer sus necesidades de la forma más específica posible, y nuestras obleas de vidrio no son una excepción. Disponibles con formas a medida y en variedades redondas estándar, el abanico de tamaños cubre desde 2 hasta 12", con espesores de 0,07-0,55 mm.
Propiedades del material
Productos MEMpax®

Propiedades del material

Propiedades ópticas 

Tabla que resume las propiedades ópticas del vidrio borosilicato MEMPax®

 

Propiedades térmicas

Tabla que resume las propiedades térmicas del vidrio borosilicato MEMPax®

 

Propiedades mecánicas

Tabla que resume las propiedades mecánicas del vidrio borosilicato MEMPax®

 

Valores de transmitancia

Tabla que resume los valores de transmitancia del vidrio borosilicato MEMPax®

 

Transmitancia espectral (250 - 3150 nm)

Gráfica que representa la transmitancia espectral del vidrio borosilicato MEMPax® (250-3150 nm)

 

Transmitancia espectral (250 - 500 nm)

Gráfica que representa la transmitancia espectral del vidrio borosilicato MEMPax® (250-500 nm)

 

Propiedades eléctricas 

Gráfico que muestra las propiedades eléctricas del vidrio borosilicato MEMPax®

 

Propiedades químicas 

Tabla que resume las propiedades químicas del vidrio borosilicato MEMPax®

 

Productos MEMpax®

SCHOTT MEMpax® está disponible como:

  • Sustratos sin pulir y obleas
  • FLEXINITY®

Para obtener más información, consulte los productos relacionados en la página de resumen.

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