Two scientists working in a laboratory looking at mirror discs

MEMS

La importancia de los sistemas mecánicos microeléctricos (MEMS) va en aumento en una amplia variedad de industrias. Sus delicados componentes microscópicos necesitan energía, interconexiones de E/S y protección confiable, por lo que SCHOTT ofrece una gama de componentes y materiales para encapsulado muy robustos, precisos y miniaturizados.

SCHOTT glass packaging offers robust protection for MEMS

Embalaje MEMS

A medida que los componentes MEMS se hacen más pequeños y potentes, aumenta la necesidad de soluciones de embalaje de igual tamaño. SCHOTT ofrece una gran variedad de materiales de vidrio y componentes y tecnologías de embalaje hermético, como TO PLUS® de alta precisión y microadhesivo para vidrio ofrecido por SCHOTT Primoceler. Estas opciones fiables de embalaje mantienen la hermeticidad del gas a largo plazo para proteger el MEMS contra daños por calor y exposición mecánica.

Productos
MEMS mirrors use SCHOTT ultra-thin glasses, as well as TO headers and electronic packaging

Espejos MEMS

Los espejos de accionamiento electromagnético con tecnología MEMS se utilizan ampliamente en las industrias de la comunicación y la seguridad inteligente. Estos espejos son muy delicados y deben estar protegidos de la humedad y las partículas de polvo, pero requieren una interfaz óptica de alto rendimiento. Los vidrios ultrafinos como MEMpax®, D263® y BOROFLOAT® son ideales para sustratos de espejos, mientras que nuestro contorno de transistor hermético y nuestros paquetes microelectrónicos permiten a los espejos MEMS funcionar con una capacidad óptima en entornos difíciles.

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Sensores de presión

SCHOTT cuenta con una gama inigualable de productos para proteger los sensores MEMS del medio ambiente, así como una gama de componentes funcionales para los propios sensores. MEMpax® y BOROFLOAT® son vidrios de borosilicato planos y muy homogéneos que son ideales para la adhesión anódica, mientras que FLEXINITY® es una cartera innovadora de sustratos de lámina y vidrio estructurados. Además, las obleas HermeS® ofrecen un embalaje resistente y duradero del tamaño de las virutas para sensores industriales.

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