MEMpax®
MEMpax® es un vidrio borosilicato extraordinariamente fino y liso verdaderamente versátil. Aunque comparte características químicas y físicas con el mundialmente famoso vidrio BOROFLOAT® de SCHOTT, abre muchas nuevas áreas potenciales de aplicación gracias a su menor espesor y a su superficie pulida al fuego.
Un perfil delgado y una superficie atractiva
SCHOTT MEMpax® amplía el abanico de espesores del vidrio borosilicato de renombre mundial BOROFLOAT® al ofrecer espesores extraordinariamente reducidos, de 0,07-0,55 mm. También se beneficia de una superficie prístina pulida al fuego, que elimina la necesidad de generado y pulido, y se puede utilizar allí donde donde se necesitan vidrios borosilicato extraordinariamente delgados, por ejemplo MEMS y aplicaciones biotecnológicas.
Extraordinariamente versátil
La combinación de espesores únicos y propiedades sobresalientes amplía el potencial de MEMpax®. Su coeficiente de dilatación térmica corresponde al de una lámina de silicio, lo que lo hace ideal para aplicaciones como oblea en procesos anódicos y otros procesos de unión. La baja autofluorescencia, la alta transmisión UV y las propiedades no conductoras de la electricidad amplían aún más su potencial.
Un conjunto de propiedades único
MEMpax® permite combinar una amplia gama de formas y tamaños con espesores inigualablemente reducidos. Su altísima resistencia a las sustancias químicas hace que este vidrio de alta pureza sea extraordinariamente resistente durante el procesamiento. Su coeficiente de dilatación térmica CET lo hace altamente compatible con el silicio en los procesos de adhesión, su alta transmisión (UV) permite una disolución rápida y mantiene la conductividad no eléctrica incluso a altas temperaturas.
Excelente resistencia química
Su resistencia química máxima le permite soportar las condiciones más agresivas durante el procesado y la aplicación.
Buena coincidencia del CDT con el silicio
Su coeficiente de expansión térmica permite la formación de tensiones mecánicas bajas durante la unión anódica incluso a altas temperaturas.
Elevada transmisión óptica
Gracias a su elevada transmisión dentro del rango de longitudes de onda del visible, MEMpax® es adecuado para el debonding con luz ultravioleta en semiconductores.
Autofluorescencia baja
Su baja autofluorescencia le abre una serie de aplicaciones de diagnóstico.
Propiedades dieléctricas
Las propiedades dieléctricas bajas hasta 77 GHz hacen que MEMpax® sea adecuado para aplicaciones a frecuencias ultraaltas.
VET y tolerancia de espesor
MEMpax® cumple con la baja variación del espesor total (VEP) y las tolerancias de espesor requeridas por las aplicaciones MEMS.
