Soportes de vidrio de alto rendimiento para el encapsulado avanzado de semiconductores
¿Qué son las obleas de vidrio portadoras?
¿Por qué elegir los carriers de vidrio SCHOTT?
Nuestros soportes de vidrio son esenciales en aplicaciones de semiconductores como sustratos temporales para la unión y separación de obleas y pastillas de silicio. El vidrio SCHOTT, con alta transmisión óptica desde UV hasta IR, permite un despegado eficiente asistido por láser y soluciones avanzadas de encapsulado.
A medida que las arquitecturas de semiconductores se vuelven más complejas, la demanda de materiales portadores ultraplanos, mecánica y químicamente estables continúa creciendo. Las obleas y paneles de vidrio se utilizan ampliamente en circuitos integrados 2,5D y 3D, encapsulado a nivel de oblea y panel tipo fan-out (FOWLP/FOPLP), y en aplicaciones de adelgazamiento de obleas.
Ventajas del carrier de vidrio
Los portadores de vidrio están adquiriendo una importancia cada vez mayor en el dinámico mundo de los semiconductores. Esto se debe a las siguientes propiedades clave:
Aspectos destacados del carrier de vidrio
Amplia selección de materiales para el soporte de vidrio que se adaptan a los requisitos de los clientes
Propiedades geométricas del soporte de vidrio SCHOTT
| Ítem | Oblea(1) | Panel(1) |
|---|---|---|
| Formato | 6", 8", 12" [150–300 mm] | máx. 650 × 650 mm(2) |
| Espesor(3) | 0,40 – 2,75 mm | 0,50 – 2,75 mm |
| Tolerancia de espesor(4) | ± 2,5 – 5,0 μm | ± 15 – 20 μm |
| Variación total de espesor (TTV)(4) | ≤ 0,5 – 2,0 μm | ≤ 15 – 20 μm |
| Alabeo(4) | 12": ≤ 50 μm 8": ≤ 30 μm |
≤ 100 – 200 μm |
| Calidad cosmética Rayón/Excavación | 40/20 – 20/10 | 40/20 – 20/10 |
(1) Especificaciones más estrictas bajo solicitud
(2) Normalmente 600 x 600 mm
(3) Valores típicos; otros espesores disponibles bajo solicitud
(4) Valores típicos, dependiendo del tipo y espesor del vidrio
Adhesión y pegado del soporte de cristal
Transmitancia espectral: grosor 1,1 mm para λ = 250 nm a 400 nm
Transmitancia espectral: grosor 1,1 mm para λ = 200 nm 500 nm
El soporte de vidrio SCHOTT se puede entregar de la siguiente manera:
- Plano/muesca: Conforme a la norma SEMI
- Marcado láser: Conforme a la norma SEMI, T7, código de barras QR/número único
- Limpieza: Limpieza ultrasónica/megasónica y sala limpia ISO 6
- Embalaje: Inspección y envasado según la norma ISO 6 en cajas de obleas (FOSB, RTU, etc.)
