肖特 Primoceler 的玻璃微键合
玻璃微键合是一种基于激光的革命性工艺,可实现高灵敏度电子元件的超微型化气密封装。 这项技术推动着医用植入物、航空航天、微机电系统和微光学元件领域的不断创新。
绝对可靠的气密密封
玻璃微键合是一种创新技术,开创了全玻璃气密电子封装的电子元件晶圆级密封。 使用极度精确的激光器熔融玻璃形成气密密封,只熔融两块玻璃接触的横截面——仅几微米的区域——而不接触所有其他表面。
超微型化的晶圆级芯片尺寸封装
使用玻璃微键合密封的组件最小可达几立方毫米。 该技术的实施十分灵活,可以在最大12英寸晶圆的芯片尺寸上操作,因此可以简单而经济地进行大批量生产。
通过新一代气密密封技术支持创新
玻璃微键合是肖特各种气密密封方法中新增添的一种革命性技术。 如果您的众多要求中包括可靠的封装、生物相容性、微型化或生产效率,玻璃微键合可能适合您的应用要求。 肖特提供合作进行的开发过程,帮助创建专业设计的客户组件成品。
全气密
作为玻璃-金属和玻璃-玻璃气密密封领域的领先者,肖特在制造绝对可靠的真空密封组件方面拥有无与伦比的专业知识。
无与伦比的微型化
玻璃-玻璃晶圆直接键合可实现高度紧凑的设计,因为材料可以更薄、各层之间的间距更小。
无需粘合剂或添加剂
玻璃微键合不需要添加剂或粘合剂来完成密封过程,有助于减少体积和复杂性。
无环境热量
因为受热影响的区域只有几微米,非常小而精确,因此可对热敏电子元件进行气密封装。
生物相容选项
具有优异的生物相容性的玻璃类型也可以进行玻璃微键合——这在医疗应用中具有明显的优势。
高产量和可重复性
玻璃微键合是一种高效的晶圆级工艺。 其优势包括高产量、每个晶圆有很多器件,并且无需使用耗材。
我们通过认证
肖特 Primoceler 的制造工艺不断得到优化,以实现高效的生产和组件可追溯性。 我们全体员工持续参与 ISO 9001 质量体系的进一步发展。
肖特 Primoceler 全玻璃封装适合高度可靠性应用
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相关产品
肖特 Primoceler 的激光键合技术适用于大多数玻璃类型,包括 SCHOTT BOROFLOAT®、SCHOTT D 263®、SCHOTT AF 32® eco、SCHOTT MEMpax® 超薄硼硅酸盐玻璃。 大多数玻璃基板可采用 SCHOTT HermeS® TGV(玻璃通孔)技术或作为 SCHOTT FLEXINITY™。