SCHOTT NEXTREMA® FPD, 半導体製造工程・ 装置ライニング用プロセス不活性素材


優れた赤外線透過性を持つため、熱効率が高く、主要なFPDメーカーの
工場設備や機械装置に多く採用されています。プラスチックや金属、
石英などに代わる新しい素材です。



技術特性
  • 最高使用温度 950° C
  • 極低熱膨張
  • 耐熱衝撃性
  • プロセス不活性
  • 高温でのロバスト性
  • 耐化学薬品性

寸法と形状
 
最大 1,080 x 1,980 mm    
厚さ 3, 4, 5, 6 mm
カット品
板状、曲げ加工も可能
Fact sheet (English/Japanese)
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