助力中国光刻,于分毫间雕刻未来

助力中国光刻,于分毫间雕刻未来

工业桂冠 —— 光刻机

光刻机被人们称为“用光雕刻的机器”,是芯片制造的核心设备之一。众所周知芯片是信息时代的基础,从通讯设备到显示设备,从生物医学到航空航天,芯片的影响无所不在,无所不能。由此可见,作为制造芯片的光刻机在这个信息时代,具有无可比拟和无可撼动的地位。

光刻机对半导体生产工艺具有决定性意义,他背后涉及了众多学科的智慧集成,包括数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学等等。毫不夸张地说,光刻机就是当代的工业桂冠。

持续的半导体危机影响甚远

疫情导致的“停工潮”等多重因素打乱了全球芯片供应链,而人们对电子互联产品的需求不减反升。2020年爆发的全球芯片短缺危机仍在持续中,并波及多个行业。

持续的半导体危机影响甚远

汽车、手机、PC显卡等面临芯片严重短缺和价格上涨。苹果公司去年将iPhone 12的发布推迟了两个月;而汽车行业更是出现了部分企业短暂停产的情况。

面对全面缺“芯”的危机,中国市场却因此契机迸发出巨大潜力。

中国市场潜力

需求旺盛

自面临芯片短缺危机以来,研制中国自己的国产芯片被提上发展日程,制造芯片的光刻机需求相应提升。

2019、2020年1-12月步进式光刻机进口量逐月数据图(单位:台)

2019、2020年1-12月步进式光刻机进口量逐月数据图(单位:台)

根据中国海关步进式光刻机进口情况显示,步进式光刻机在中国的市场潜力非常巨大,2020年尽管新冠疫情爆发给各行各业造成一定影响,但我国步进式光刻机市场增长依然明显。

中国芯片产能提升

根据国家统计局数据,2021年第一季度,国内累计生产了高达820.5亿块芯片产品

同比增长了62.1%

并且目前中国国产芯片的产能依旧还在不断地爬坡之中。

政策支撑

政策支撑

第三代半导体材料是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性和基础性产业,是国家新材料发展计划的重中之重。作为第二个百年计划的开端,“十四五”期间,中国将在教育、科研、开发、融资、应用等方面,大力支持发展第三代半导体产业,以期实现产业快速发展。十四五规划将对半导体产业链各个关键“卡脖子”环节重点支持,包括关键的半导体设备和材料。

助力光刻,德国肖特三箭齐发

深耕特种玻璃研发与制造长达130余年的德国肖特,为光刻机提供基于玻璃光纤的光传输解决方案、用于结构部件的零度®微晶玻璃以及具有365 纳米紫外线高透射率的i-line玻璃。通过从产品到解决方案立体式布局,全方位助力行业发展。

基于玻璃光纤的光传输解决方案

光刻系统的关键特性在于针对镜头,将晶圆进行快速、精确和可重复的定位,而肖特柔性导光束则是实现精确定位的理想选择,具有以下特点:

需求旺盛
晶圆产量高

肖特光导提供了高质量的光学参数组合,实现了高度稳定的光质量和强度,从而达到高产量。

提高生产效率

肖特的光导管机械性能和化学性能良好,易于集成到系统中,并且具有很长的使用寿命。能够有效降低客户使用时的故障率,从而提高生产效率。

始终如一的产品质量

FMEA过程分析确保生产过程稳定,肖特会跟踪所有相关的生产参数以实现可溯性和透明性,此外具有丰富经验的工程师也能确保提供极高的精度。

肖特零度®(SCHOTT ZERODUR®)微晶玻璃

肖特零度®(SCHOTT ZERODUR®)微晶玻璃

肖特零度®是一种低热膨胀微晶玻璃,常常被用于光刻机等对精度有着极为苛刻的要求的应用当中。

  • 实现极为苛刻精度要求
    实现极为苛刻精度要求

    肖特零度®(SCHOTT ZERODUR®)微晶玻璃有着接近于零的热膨胀率,从而最大化减少材料在几何形状和大小方面的变化,可实现0±7ppb/K的精度。并且ZERODUR® Tailored可根据客户实际的工作点(温度)对热膨胀曲线进行调整。

  • 出色的可加工性
    出色的可加工性

    零度®微晶玻璃具有着非凡的可加工性能,可以根据客户的需求,通过CNC磨削加工成各种尺寸和形状,可以定制大型或轻量的复杂形状。

    零度®能够通过光刻实现精细结构的图案化,涵盖从i-line到KrF和ArF步进器到EUV光刻的整个技术范围。

    肖特不仅可以加工,而且可以在先进的坐标测量机上精确测量加工后的零度® 零件。

  • 高度均匀的特性

    即使对于大型零件(可达4.25米及更高),零度®的CTE均匀性也非常出色。肖特通过先进的研磨和抛光使粗糙度低于几纳米,从而获得非凡基材。

肖特i-line玻璃

肖特i-line玻璃

肖特i-line玻璃是以代号为i的紫外汞谱线命名的光学玻璃类型,既可提供365纳米紫外线高透射率,又可确保高折射率均匀性。这些玻璃(如N-BK7HTi、FK5HTi、LF5HTi 和 LLF1HTi)既可以定制形状也可以按客户要求提供成品元件。

 i-Line玻璃

i-Line玻璃通常适用于光刻应用,
例如i-line步进机和晶圆扫描仪。

各行业领先企业的信赖之选

  • 由于肖特稳定的结构和规模,即使在充满挑战的时期,肖特也能承受市场波动,大量的资源允许我们对市场变化做出快速反应。正是因为可靠,肖特赢得了诸多行业内头部企业的信赖。

    —— Kevin Zhang
    肖特光学成像事业部

定制化解决方案

肖特凭借丰富的专业知识,充分理解所有不同行业的关键需求,并以此为客户提供定制化的解决方案。

布局光刻机,肖特可为合作伙伴提供全方位的支持,从具体应用产品到可定制化的解决方案,肖特助力合作伙伴一同探索光刻机的奥秘,共同助推行业发展。

联系人:Vivian Wang
电话:+86 21 533300656
邮箱:info.china@schott.com

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