気密性

ショットの気密端子の品質特性として、まずあげられるのが気密性です。気密性は部品の機能にとって重要な役割を果たしています。そのためショットでは、ランダムサンプリング検査を通じて気密端子の真空気密を継続的にモニタリングしています。気密試験については、質量分析計を利用したヘリウムリークディテクターを用いて実施しています。

最新のリーク試験機は、試験媒体としてヘリウムを使用することにより、10-12mbar・l/sという微小リークを検出する能力を備えています。ただし、この測定は実験室条件以外の条件下では実施することができません。またポンピング・測定サイクルを長時間実施する必要もあります。


通常試験では、10-8mbar l/sのリークレートで行っています。ショットの気密端子(GTMS:Glass-to-Metal Seal)が通常10-8mbar・l/sまでのリークレートを保証しているのはこのためです。この場合、内部と外部の圧力差は1 barで行っています。特別なケースでは、ご相談の上で、リーク率を10-11mbar・l/sに下げた保証を行う場合もあり、低いリークレートの要求仕様にも対応しています。 

ショットの気密端子(GTMS)のリークレートの試験は、静的な条件以外で行うこともできます。例えば、溶接時の応力を増加させ、キャップの溶接テストを行い、リークレートを測定することもできます。
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