FOTURAN® II
感光性ガラスウエハー
FOTURAN® II は 実績のある FOTURAN® を改良した感光性ガラスです。 連続溶融で製造されるため均一性に優れています。FOTURAN® II はUV露光と熱処理を施すことにより結晶化する感光性ガラスです。 結晶化した部分は高アスペクト比でエッチングすることができ、非常に微細な構造やビアを形成することができます。 二度目の露光と熱処理を施すことにより、更にガラスセラミックにすることもできます。 陽極接合も可能です。
構造化されたFOTURAN® II は、半導体チップと半導体パッケージングプロセスに適用することができます。 FOTURAN® II は、フォトレジストを使わずに標準的な半導体製造装置を使って加工することができます。
- 高い均一性:: 先進的な溶融法による安定性と再現性の高い感光特性
- 高アスペクト比で非常に精密な構造化が可能
- フォトレジスト無しで構造化が可能
- バイオ領域での実績: 高い温度・化学安定性と、低い自己蛍光
- 高透過率 （可視光および非可視光）
- 環境に優しい: EU-RoHSや EU-REACHなどの規制に対応
- 長年に亘る実績: 30年以上の実績と多数の使用例
FOTURAN® II の供給形態:
* 標準板厚:0.5/ 0.7/ 1.0 / 1.3 mm
上記以外の形状に関しては、ご相談下さい
| ウェハ形状 | 寸法 * |
|---|---|
| 円形 |
|
| 方形 |
|
| サンプルキット | 93 x 93 x 0.5 mm 1p 6 インチ0.5 mm T ウェハ1p |
* 標準板厚:0.5/ 0.7/ 1.0 / 1.3 mm
上記以外の形状に関しては、ご相談下さい
| 加工後形状精度（代表値）** | |
|---|---|
| 穴加工内壁の表面粗さ | 1–3 μm |
| 非露光領域の表面粗さ | < 5 nm |
| 最大穴形成密度 (holes / cm²) | 10,000 |
| 穴間距離のばらつき (per 100 mm) | < ± 0.3 % (100 mm ± 300 μm) |
** 掲載値は、ショットの標準工程条件で加工した場合の代表値であり、加工条件に
よって変動しますので、加工後形状を保証するものではありません。
機械的特性– ガラス状態/ 結晶化状態 |
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|---|---|---|---|
ガラス状態 |
結晶化後 *** |
||
結晶化
|
結晶化
|
||
| 密度 ρ in g /cm³ | 2.37 | - | - |
| ヌープ硬度 HK 0.1/20 | 480 | 510 | 500 |
| ビッカース硬度 HV 0.2/25 | 520 | 560 | 480 |
| 弾性率 GPa | 76.5 | 81.2 | 91.0 |
| ポアソン比 v | 0.21 | 0.19 | 0.18 |
*** 参考値
熱的特性 – ガラス状態( 結晶化前) |
|
|---|---|
| ガラス転移温度 Tg [°C] | 455 |
| CTE (線熱膨張係数) α [10–6 K–1] (20 °C; 300 °C) |
8.49 |
| 熱伝導率 λ [W/(m*K)] (ϑ = 90 °C) | 1.28 |
電気的特性– ガラス状態・結晶化状態 |
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|---|---|---|---|---|
ガラス状態 |
結晶化後 *** |
|||
周波数 [GHz] |
アニール
|
結晶化
|
結晶化
|
|
誘電率 εr |
1.1 | 6.4 | 5.8 | 5.4 |
| 1.9 | 6.4 | 5.9 | 5.5 | |
| 5 | 6.4 | 5.8 | 5.4 | |
| 24 | - | 5.87 | 5.41 | |
| 77 | - | 5.61 | 5.27 | |
誘電正接 tan δ (* 10–4) |
1.1 | 84 | 58 | 39 |
| 1.9 | 80 | 65 | 44 | |
| 5 | 109 | 79 | 55 | |
| 24 | - | 146 | 105 | |
| 77 | - | 185 | 135 | |
*** 参考値
化学的特性 – ガラス状態 (結晶化前) |
|||
|---|---|---|---|
| クラス | |||
| 加水分解耐性 (DIN ISO 719 準拠) | (μg) Na2O/g | 578 | HGB 4 |
| 耐酸性 （DIN 12116 準拠) | mg/dm2 | 0.48 | S 1 |
| 耐アルカリ性 (DIN ISO 695 準拠) | mg/dm2 | 100 | A 2 |
光学的特性– ガラス状態/ 結晶化状態 |
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|---|---|---|---|---|
ガラス状態 |
結晶化後 *** |
|||
波長 (nm) |
アニール
|
結晶化温度
|
結晶化温度
|
|
屈折率 |
300 | 1.549 | n/a | n/a |
| 486.1 (nF) | 1.518 | 1.519 | 1.532 | |
| 546.1 (ne) | 1.515 | 1.515 | 1.528 | |
| 587.6 (nd) | 1.512 | 1.513 | 1.526 | |
| 656.3 (nc) | 1.510 | 1.511 | 1.523 | |
透過率 τ (λ) 板厚1 mm |
t250 | 0.1 | - | 0.02 |
| t260 | 0.5 | - | 0.02 | |
| t270 | 3 | - | 0.01 | |
| t280 | 11 | - | 0.02 | |
| t295 | 29 | - | 0.02 | |
| t314 | 37 | - | 0.01 | |
| t350 | 89 | - | 0.01 | |
*** 参考値
