リソグラフィー

Industrial Applications & Lithography - SCHOTT Advanced Optics

大きな飛躍を実現した小さなステッパー


このステッパーはエクササイズの役には立ちませが、未来を形作る役に立ちます。チップ。マイクロチップ。そしてナノ。マイクロはすでに過去の技術で、時代はさらに小型化を追及しています。小型化には、もちろん、性能の向上も伴います。

ステッパーは付け合せのポテトチップにジャガイモが必要なように、チップ(集積電子回路)の製造に重要な役割を果たしています。高いUV透過率などの特性をもった特殊光学ガラスはステッパーの露光システムや投影レンズに最適です。これらのコンポーネントは巨大なスライドプロジェクターのような働きをしますが、ステッパーでは、「スライド」の構造は極小化され、フォトレジストでコーティングされたシリコンウエハーに転写されます。このプロセスを繰り返し、回路の複雑な構造が完成します。フォトレジスト層のフォトリソグラフィのパターン形成は、半導体技術の集積回路の複雑な製造工程のうち、最も重要な工程の1つです。これでウエハーが完成です。

年月を重ねるほどにより良く

魅力的な薄さ

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