SCHOTT FLEXINITY^® - 结构化玻璃解决方案

主要设计特点                                                                                                                                              

最小结构半径	100 µm
结构间的最小距离	300 µm
到晶圆边缘的最小距离	≥ 3 mm

规格	值
厚度（取决于玻璃类型）	0.1 mm – 3.3 mm
晶圆尺寸	最大直径为600mm （圆形和长方形）
结构特点：
- 最小结构半径	≥ 100 µm
- 结构尺寸公差	< 20 μm (equiv. ± 10 μm)
周边除外范围	≥ 3 mm
结构间的最小距离	> 300 µm
结构位置公差	< 20 μm (equiv. ± 10 μm)
布局	根据客户需要的结构

请注意，可根据要求提供特殊解决方案。