SCHOTT FLEXINITY^® - 结构化玻璃解决方案

主要设计特点                                                                                                                                              

最小结构半径	150 µm
结构间的最小距离	300 µm
到晶圆边缘的最小距离	5 mm

规格	值
厚度（取决于玻璃类型）	0.1 mm – 3.8 mm
晶圆尺寸	4"-12" （圆形和矩形）
结构特点：
- 最小结构半径	150 µm
- 结构尺寸公差	+/- 25 µm
周边除外范围	≥ 5 mm
结构间的最小距离	> 300 µm
结构位置公差	< +/- 25 µm
布局	根据客户规格和结构特点

请注意，可根据要求提供特殊解决方案。