SCHOTT FLEXINITY™ - 结构化玻璃解决方案

SCHOTT创新的晶圆和薄玻璃结构组合

产品信息

SCHOTT 通过 SCHOTT FLEXINITY™ 推出全新的创新型产品组合，该系列产品可提供高精度和多功能的结构化玻璃基片。

我们大部分厚度各异的玻璃基片均可通过 FLEXINITYTM 加工获得：

D 263^® bio 基片玻璃 l D 263^® T eco 薄玻璃 l MEMpax^® l AF 32^® eco l BOROFLOAT ^® 33

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优点

位置公差 +/- 25 µm
外形尺寸公差 +/- 25 µm
结构半径 >150 µm
小于 100 µm

最小结构半径	150 µm
结构间的最小距离	300 µm
到晶圆边缘的最小距离	5 mm

传感 / MEMS

高质量和经久耐用的压力传感器所用材料需要具有一定的特性。玻璃和硅具有比较相近的热膨胀系数。它们在阳极键合的过程中，因温度变化而造成的体积膨胀率接近，因此键合面之间由于膨胀率匹配问题造成的应力可得到最大限度地降低。此外，由于玻璃和硅之间的粘合力主要取决于表面质量，因此玻璃的表面粗糙度必须要保持在很低的水平。

由于设备、模块和传感器都趋于变得更薄更轻，玻璃基板也需要变得更薄以便能够实现更好的封装。
肖特结构玻璃晶圆具有火抛光表面，与硅的键合质量能够达到更高，并且肖特还能提供比发丝还薄的玻璃晶圆，适用于超小型传感器的设计与生产

微流体

D 263^® bio可方便地被加工成具有各种结构的玻片或晶圆，另外能够进行化学强化从而具有较高的机械强度。这些优点使其成为对光学质量和化学稳定性要求较高产品的理想选择。D 263^® bio可以作为基板玻璃应用于光学诊断、微流体组件或其它消费及工业领域。

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技术详情

请参见下方了解我们初步建立的取样生产线的规格。请记住，完全落实的程序的规格得到进一步改进：

规格	值
厚度（取决于玻璃类型）	0.1 mm – 3.8 mm
晶圆尺寸	4"-12" （圆形和矩形）
结构特点：
- 最小结构半径	150 µm
- 结构尺寸公差	+/- 25 µm
周边除外范围	≥ 5 mm
结构间的最小距离	> 300 µm
结构位置公差	< +/- 25 µm
布局	根据客户规格和结构特点
Chipping	< 10 µm 孔周表面损伤