零度^®极低膨胀微晶玻璃

产品信息

极低的热膨胀

ZERODUR^{^®}是肖特公司生成的一款极低热膨胀微晶玻璃，可为众多要求严苛的高科技应用提供极高的精度，如IC（集成电路）和FPD（平板显示器）光刻技术、高精度计量和天文学应用——温度变化过程中必须尽量减小几何形状和距离变化的高要求应用。

ZERODUR^{^®}是一款无机、无孔锂铝二氧化硅微晶玻璃，纳米晶在残余玻璃相内均匀分布。

该产品可作为小型成品部件，超轻量镜面基板，同时也可用作分段和整体天文望远镜的镜面基板。

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优势

零度^®，极低膨胀微晶玻璃，具有各种非凡特性：

大范围全坯料体积温度内具有极低的热膨胀系数（CTE ——热膨胀系数）
总体积内具有卓越的CTE均匀性
非常低的杂质、条纹和内应力
各种精确的几何形状
粗糙度低于均方根1 nm的极光滑表面
出色的化学稳定性
凭借小部件和大型镜面基片实现可靠特性

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供应形式

可用零度^® 极低膨胀微晶玻璃:

供应形式	尺寸
精密机床加工部件	根据客户规格直径：最大 4.5 m
定制几何形状	根据客户规格直径：最大 4.5 m
轻量化	最大90%，根据客户规格

技术先进的5轴现代数控加工设备以及特殊研磨技术，可根据客户要求生产出复杂几何形状和金银丝细工结构。

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技术细节

膨胀玻璃 | CTE均匀性公差 | 特性 | 内部质量 | 质量保证

ZERODUR^® 具有不同等级的线性热膨胀系数（CTE），范围为 0 °C - 50 °C：:

CTE等级	CTE (0 °C; 50 °C)*
零度^® 膨胀等级 2级	0 ± 0.100 ・ 10^-6/K
零度^® 膨胀等级 1级	0 ± 0.050 ・ 10^-6/K
零度^® 膨胀等级 1级	0 ± 0.020 ・ 10^-6/K
零度^® 膨胀等级 0级特殊 SPECIAL	0 ± 0.010 ・ 10^-6/K
零度^® 膨胀等级 0级极致 EXTREME	0 ± 0.007 ・ 10^-6/K

零度^® 定制 TAILORED	定制 ± 0.020・10^-6/K (± 0.010・10^-6/K 按要求) 针对应用温度曲线优化

* CTE (0 °C; 50 °C) 描述了温度范围在0 °C - 50 °C的平均线性热膨胀系数。

CTE (0°C; 50°C) 均匀性公差
最大18吨	< 0.03 ・ 10^-6/K
最大6 吨	< 0.02 ・ 10^-6/K
最大0.3 吨	< 0.01 ・ 10^-6/K

Properties	ZERODUR^®
Density p [g/cm³]	2.53
Young’s modulus E [GPa]	90.3
Poisson’s ratio μ	0.24
Knoop hardness HK [0.1/20] (ISO 9385)	620
Heat capacity c_p at 20 °C [J/(gK)]	0.80
Thermal conductivity at 20 °C [W/(mK)]	1.46
Max. application temperature [°C]	600