MEMpax^®

产品信息

超薄硼硅酸盐玻璃

SCHOTT MEMpax^® 是一款采用火焰磨光面制造的硼硅酸盐玻璃，具有与肖特公司的著名产品Borofloat^® 33类似的化学和物理特性。

同时，MEMpax^®的厚度较小，并能以其卓越的表面质量，提供不再需要研磨和抛光的薄晶圆。

MEMpax^®的线性热膨胀系数与硅一致，这款玻璃完美适用于阳极键合。该产品的自发荧光较低，并结合了卓越的表面质量、平直度和均匀性，为MEMpax^®提供了微电子机械系统（MEMS）和生物技术领域应用的多种可能性。

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优势

微电子机械系统（MEMS）

线性热膨胀系数与硅一致
适用于阳极键合
薄晶圆无需抛光
高耐热性和耐化学性

生物技术

高透光率
多种厚度可用
低自发荧光
卓越的表面质量

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供应形式

可供选择的MEMpax^®:

供应形式	厚度*	标准厚度*	尺寸
晶圆基片	0.1 mm - 0.5 mm	0.2 mm 0.3 mm 0.4 mm 0.5 mm	2" 到 12" 圆片或方片

* 根据要求提供其它厚度

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技术细节

技术数据
尺寸	2" 到 12" 圆片或方片
表面粗糙度 R_a	< 0.5 nm
厚度*	0.1 mm - 0.5 mm
标准厚度*	0.2 mm, 0.3 mm, 0.4 mm, 0.5 mm
光透射比 Τ_vD65 (厚度 = 0.5 mm)	92.9 %
平均线性热膨胀系数 α (20 °C; 300 °C) (静态测量)	3.3 · 10^–6 K^–1
转变温度 T_g	532 °C
1 MHz下介电常数εr	4.8
折射率 n_D(原片玻璃)	1.4714
密度 ρ (40 °C/h下退火)	2.22 g/cm³