FOTURAN® II
光敏玻璃晶圆
FOTURAN® II 光敏玻璃是由FOTURAN® 改进而来。该玻璃采用连熔法生产，具有极佳的质量均一性。FOTURAN® II 是一款技术光敏玻璃。该光敏玻璃经过紫外曝光以及热处理后会析出晶体，这些析晶区域在酸腐蚀之后可以形成高深宽比的细小结构和通孔。再经过二次曝光和热处理，玻璃基体可以发生相变形成玻璃陶瓷。此外，阳极键合对该款玻璃也是可能的。
带结构的FOTURAN® II 材料可以应用于半导体芯片和半导体封装工艺。该工艺流程只需要标准的半导体加工设备即可，不再需要使用光刻胶。
- 高度质量均一性：先进的熔制工艺确保光敏性均一且具高度重现性
- 极其细小的微结构尺寸并具有高的深宽比
- 无需光刻胶即可制作微结构
- 极佳的透光特征（同时表现在可见区和非可见区）
- 生物兼容性：耐温，化学稳定
- 环境友好：符合EU-RoHS 和 EU-REACH规定
- 悠久的应用历史：既有超过30年的使用历史，又有大量关于加工工艺的最新出版物可查
FOTURAN® II 供货规格：
* 每种尺寸对应的标准厚度： 0.5/ 0.7/ 1.0 / 1.3 mm
根据客户要求可提供其他尺寸和厚度
| 供应规格 | 尺寸* |
|---|---|
| 圆形 (晶圆) |
|
| 方形 (衬底) |
|
| FOTURAN® 样品套装 | 包括一块93 x 93 x 0.5mm 块 体和一块6“ x 0.5mm 晶圆 |
* 每种尺寸对应的标准厚度： 0.5/ 0.7/ 1.0 / 1.3 mm
根据客户要求可提供其他尺寸和厚度
| 典型后续加工精度** | |
|---|---|
| 刻蚀后结构内表面的粗糙度 | 1–3 μm |
| 非曝光区域的表面粗糙度 | < 5 nm |
| 最大孔密度 (孔数量 / cm²) | 10,000 |
| 孔间距的公差 (每100 mm) | < ± 0.3 % (100 mm ± 300 μm) |
** 数据基于SCHOTT标准加工工艺参数。上述数据供参考，不保证该限定范围，
依据不同的加工参数可发生相应变化。
力学性能- 玻璃态和陶瓷态 |
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|---|---|---|---|
玻璃态 |
陶瓷态 *** |
||
析晶560 °C |
析晶
|
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| 密度 ρ in g /cm³ | 2.37 | - | - |
| 努普硬度 HK 0.1/20 | 480 | 510 | 500 |
| 维氏硬度 HV 0.2/25 | 520 | 560 | 480 |
| 杨氏模量 GPa | 76.5 | 81.2 | 91.0 |
| 泊松比 v | 0.21 | 0.19 | 0.18 |
*** 以上数据可能会有更新
热性能- 玻璃态 |
|
|---|---|
| 玻璃化转变温度 Tg in °C | 455 |
| 平均线性热膨胀系数 α (20 °C; 300 °C / 10–6 K–1 (静态测量) |
8.49 |
| 热传导系数 λ in W/(m*K)(ϑ = 90 °C) | 1.28 |
电学性能- 玻璃态和陶瓷态 |
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|---|---|---|---|---|
玻璃态 |
陶瓷态 *** |
|||
频率 [GHz] |
以40 °C/h退火 |
析晶
|
析晶
|
|
介电常数 εr |
1.1 | 6.4 | 5.8 | 5.4 |
| 1.9 | 6.4 | 5.9 | 5.5 | |
| 5 | 6.4 | 5.8 | 5.4 | |
| 24 | - | 5.87 | 5.41 | |
| 77 | - | 5.61 | 5.27 | |
介电损耗 tan δ (* 10–4) |
1.1 | 84 | 58 | 39 |
| 1.9 | 80 | 65 | 44 | |
| 5 | 109 | 79 | 55 | |
| 24 | - | 146 | 105 | |
| 77 | - | 185 | 135 | |
*** 以上数据可能会有更新
化学性质- 玻璃态 |
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|---|---|---|---|
| 等级 | |||
| 抗水解性能 根据 DIN ISO 719 |
(μg) Na2O/g | 578 | HGB 4 |
| 耐酸性 根据 DIN 12116 | mg/dm2 | 0.48 | S 1 |
| 耐碱性 根据DIN ISO 695 | mg/dm2 | 100 | A 2 |
光学性能- 玻璃态和陶瓷态 |
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|---|---|---|---|---|
玻璃态 |
陶瓷态 *** |
|||
波长 (nm) |
以 40 °C/h
|
析晶
|
析晶
|
|
折射率 |
300 | 1.549 | n/a | n/a |
| 486.1 (nF) | 1.518 | 1.519 | 1.532 | |
| 546.1 (ne) | 1.515 | 1.515 | 1.528 | |
| 587.6 (nd) | 1.512 | 1.513 | 1.526 | |
| 656.3 (nc) | 1.510 | 1.511 | 1.523 | |
光谱透过率 τ (λ) [ 单位%, 1 mm 厚度] |
t250 | 0.1 | - | 0.02 |
| t260 | 0.5 | - | 0.02 | |
| t270 | 3 | - | 0.01 | |
| t280 | 11 | - | 0.02 | |
| t295 | 29 | - | 0.02 | |
| t314 | 37 | - | 0.01 | |
| t350 | 89 | - | 0.01 | |
*** 以上数据可能会有更新
