產品簡介

ZERODUR®

產品資訊

ZERODUR® 是一種熱膨脹係數極低的陶瓷玻璃。
ZERODUR® 最重要的特性如下:
  • 近乎於零的熱膨脹以及出色的三維的均勻度
  • 優秀的內部品質
  • 良好的加工性能
  • 可被拋光至極高的精確度
  • 良好的可鍍膜性能
  • 低度的化學氦滲透性
  • 無孔
  • 優良的化學穩定性

應用

天文學:
30 多年來,ZERODUR® 一直是與地球接連及天體運行軌道天文望遠鏡的主鏡的最佳材質。由於 ZERODUR® 可以被大批生產並具備可再製造的品質,因而適用于未來的 20-100 米等級的超大型望遠鏡裝置。最現代的技術創造了製造羽量級結構的條件,使得其重量可以減輕 65% 之多。由於具備出色的零膨脹係數均勻性,ZERODUR® 成為將來X射線望遠鏡裝置鏡殼的的最理想材料。 微光刻技術為了能夠達到精確的和可再複製晶圓定位,ZERODUR® 於晶圓光刻機中被用作可移動機械部件。由於 ZERODUR® 具近乎於零的熱膨脹,出色的均勻性以及良好的加工性能使它成為將來反射光學系統的 EUV 光刻技術的理想的基本片材料。

測量技術:
具極低的熱膨脹以及被證實的長期空間穩定性使 ZERODUR® 成為測量設備中最理想的參考標準。

機械構造:
借助于現代加工技術,ZERODUR® 可運用於日益複雜的幾何學。

其他用途:
ZERODUR® 在光學和紅外線的光譜範圍均有著良好的透射特性以及高度的光學均勻性,由於這點使 ZERODUR® 也被應用於光學系統。

微光刻技術:
為了能夠達到精確的和可再複製晶圓定位,ZERODUR® 於晶圓光刻機中被用作可移動機械部件。由於 ZERODUR® 具近乎於零的熱膨脹,出色的均勻性以及良好的加工性能使它成為將來反射光學系統的 EUV 光刻技術的理想的基本片材料。

產品供應

ZERODUR® 可以以圓形片,矩形,棱柱形,棒狀和切割件從幾釐米至 4 米長的尺寸供貨。 先進的 CNC 加工機器及各種碾磨技術使我們能夠根據客戶需求提供複雜的幾何體和現狀結構的製造。

特性

熱膨脹係數:
ZERODUR® 錨零膨脹陶瓷玻璃材料可根據客戶的要求,提供片料、棒料及塊料等。並且根據 0°C~50°C 的線性熱膨

脹係數分為三個等級:

  Expansion class 2 0 ±0.10*10-6 K-1
  Expansion class 1 0 ±0.05*10-6 K-1
  Expansion class 0 0 ±0.02*10-6 K-1

ZERODUR® 展現出色的線性熱膨脹的均勻性,典型值介於 0.02*10-6 K-1 之間。根據要求我們也可供應均勻度 < 0.01*10-6 的產品。
ZERODUR® 通常可運用在溫度直至 600 攝氏度,對於至 800 度的高溫的應用,我們開發了新型材料 ZERODUR® K20 這種材料在 20° - 700° C 溫度膨脹係數為 2.0*10-6 K-1 室溫下為 1.5*10-6 K-1

  • 內部品質:

  • 以下是尺寸小於 500 公厘的標準 ZERODUR®的數據:

     
      平均內含物值 5 / 100 cm3
      單個內含物的最大直徑 3.0 (1.4 within the critical volume)
      條紋 (雙折射) < 60 nm / striae
      體積應力 (雙折射) < 6 nm / cm

  • 其他性質:
  •   密度 2.53 g/cm3
      20°C 的導熱係數 1.46 W/(m*K)
      20°C 的熱擴散率 0.72*10-6 m2/s
      熱容量 0.8 J/(g*K)
      20°C 的強性模量 90.3 GPa
      橫向變形係數 0.243
      努氏硬度 0.1/20 620

    品質保證

    ZERODUR® 產品在整個生產過程中受到監督。此外還有一個非常詳細的最後檢驗。我們運用高度精密的先進測量

    儀實現這一檢驗:

    熱膨脹係數: 高度精密的膨脹計 (以 PTB 為參照標準)
    幾何形狀: 高度精確度的可移和固定型的三維座標測量器
    表面品質: 粗糙度測量器
    內部品質: 精密量度顯微鏡和應力測試裝置運用 "de Senarmont" 方法測量
    光學均勻性: 光圈直至直徑 500 公厘的干涉儀
    聯絡

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