Substrate

Warum Glaswafer?

In der Mikrosystemtechnik werden komplexe elektronische und mechanische Strukturen auf kleinstem Raum miteinander vereint. Prädestiniert für diese Technik sind elektronische Komponenten, wie Mikrosensoren oder Mikrorelais.

Für den Einsatz von Glaswafern von SCHOTT sprechen dabei mehrere Gründe:

Glasherstellung von Spezialgläsern gehört zu unseren Kernkompetenzen. Kundenspezifische Entwicklungen sind zudem möglich.

An die Oberflächen der Glaswafer werden sehr kritische Qualitätsanforderungen hinsichtlich Planität, Parallelität und Rauhigkeit gestellt. Zur Erreichung dieser Kriterien ist der Einsatz von speziellen Läpp- und Polieranlagen erforderlich, um diese Ansprüche zu realisieren. Diese beidseitig arbeitenden Läpp- und Polieranlagen sind die "Kernstücke" unserer Bearbeitungstechnologie.

Für zahlreiche Sensortypen oder auch Mikrorelais werden Wafer mit runden oder rechteckigen Löchern oder Kavernen eingesetzt. Um höchste Präzisionsanforderungen zu erfüllen, wird das Verfahren des Ultraschallbohrens benutzt.

In der Mikrosystemtechnik werden sehr hohe Ansprüche auch an die Reinheit aller Komponenten gestellt. Die optimale Reinigung unserer Glaswafer erfolgt in Ultraschallbädern.

Die Prüfung der Wafer erfolgt unter Reinraumvoraussetzungen (Reinraumklasse 1000), unter Einsatz von besonderen Mess- und Prüfinstrumenten.

Die Lieferung der Wafer wird in hermetisch abgedichteten Trays vorgenommen und ermöglicht unseren Kunden den unmittelbaren Einsatz der Wafer in ihren Produktionsanlagen.

Prozeßfähigkeit, Prüfmittelfähigkeit sowie Rückverfolgbarkeit sind bei diesen Produkten notwendige Voraussetzung.

Glas Wafer - Broschüre (engl.)

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