Das gebohrte Glassubstrat hat einen Durchmesser von 150 Millimetern. Der Silizium-Glaswürfel im Endprodukt, einem Drucksensor für Dieselmotoren, misst gerade einmal 5 Kubikmillimeter.
Glassubstrate

Top-Qualität für Mini-Bauteile

Um im Mikrosystem-Bereich eingesetzt zu werden, müssen Glassubstrate sehr hohe Qualitätsstandards erfüllen. Um diesen Anforderungen gerecht zu werden, verfügt SCHOTT Spezialglas AG, Standort Grünenplan über spezielle Herstellungs- und Bearbeitungstechnologien. Beidseitig arbeitende Schleif- und Polieranlagen werden eingesetzt, um die kritischen Ansprüche hinsichtlich Parallelität, Planität und Rauigkeit zu realisieren. Die Ultraschall-Schwinglapptechnologie ermöglicht die Herstellung vorgegebener Bohrlayouts; auch eng tolerierte Bohrungen in fast beliebiger Anzahl und Konfiguration sind möglich.

Um die Sauberkeit der Glassubstrate sicherzustellen, werden die gereinigten Gläser unter Reinraumbedingungen kontrolliert (Reinraumklasse 1.000). Die Lieferung an den Kunden erfolgt in speziellen Trays, so dass die Substrate unmittelbar in den Produktionsanlagen eingesetzt werden können.

Im „intelligenten“ Automobil sorgen Sensoren für mehr Sicherheit und Komfort. Bei den winzigen Bauelementen kommen auch qualitativ hochwertige Glassubstrate und Glas-Metall-Verbindungen zum Einsatz.