プレスリリース

2016-02-16, SCHOTT AG, Mainz, Germany / San Francisco, USA

ショット、米展示会でFOTURAN® IIガラスウエハーを初展示

~RF/MEMS、バイオテクノロジー用途に最適、第二世代の感光性構造化ガラス~
写真キャプション:
ショットのFOTURAN® II 感光性ガラスは、UV露光、熱処理、エッチングの三段階、または結晶化を追加した四段階で構造化される。
出典:ショット
写真キャプション: ショットのFOTURAN® II 感光性ガラスは、UV露光、熱処理、エッチングの三段階、または結晶化を追加した四段階で構造化される。 出典:ショット
ドイツの特殊ガラスメーカー、ショット(SCHOTT AG、 本社:ドイツ・マインツ市、取締役会会長:Dr. フランク・ハインリヒト)は、米国サンフランシスコ市で2016年2月16日から18日まで開催される「SPIEフォトニクス・ウエスト2016」のショットのブース(ブース番号:1314)でFOTURAN® IIガラスウエハーを展示します。第一世代のFOTURAN®よりも性能が大幅に改良された感光性ガラス、FOTURAN® IIガラスウエハーは、ショットの薄板ガラス、ウエハー製品の幅広いポートフォリオをさらに充実させる製品です。

FOTURAN® IIは、感光性と均一性に優れ、高アスペクト比の加工を実現します。このガラス基板を使用することで、無線周波数(RF)部品や微小電気機械システム(MEMS)メーカーは、半導体やバイオテクノロジー用の非常に微細な構造の基板を構成することが可能になります。

ショットは、感光性ガラスのパイオニアです。FOTURAN®ガラスは、通常のフォトレジストを使わずに、微細な構造物を加工できるガラス基板としてよく知られており、マイクロシステム技術、半導体、通信、RF部品、マイクロ流体、マイクロオプティクスやMEMSセンサーなど、多岐にわたる分野で30年以上使われています。

ショットは、FOTURAN®の性能を大幅に改良したFOTURAN® IIを開発しました。構造化されたFOTURAN® IIガラス基板は、高周波RF部品のインダクターの小型化に貢献し、高いQ値(周期的外力に対する共振の鋭さ)と自己共振周波数(SRF)を実現します。
バイオテクノロジー分野では、マイクロ流体が、医療診断、生命科学研究、ドラッグデリバリーや医薬品合成など、さまざまな領域で新たな技術開発を促進する主要なツールとなりつつあります。この領域では、FOTURAN® II は、洗浄が容易で、繰り返し利用することができ、高い透過率をもつマイクロプレートを製造することを可能にします。

また、FOTURAN® IIを用いると、 シリコンセンサーでは実現が難しかった、反応が非常に早く、優れた化学的安定性を有する熱質量の小さい流量センサーを設計することが可能になります。さらに、FOTURAN® IIは、半導体チップや半導体パッケージングプロセスに適用することができます。

FOTURAN® II は、改良された製造プロセスによって製造されるため、ウエハー全体に優れた感光性と、高い光学特性が均一に再現されています。

薄板ガラス・ウエハー事業部長、フレドリック・プリンスはこう述べています。
「FOTURAN® II のユニークな性質は、研究者や開発担当者が、マイクロレベルの非常に微細な構造の基板を構成し、かつ、これまでに例のないようなアスペクト比を実現することを可能にします。そして、半導体から医療機器までさまざまな機器の高出力化を実現し、さらに、性能を犠牲にすることなく、小型化にも貢献します」


FOTURAN® II は、6インチ、または8インチのウエハーのほか、200×200ミリメートルまでの正方形基板(0.5ミリメートルから1ミリメートル厚)で提供しています。ウエハーは、標準的なリソグラフィ装置を使用したUV露光(フォトレジスト不要)、熱処理とエッチングの三段階で構造化されています。さらに高い温度安定性が要求される場合には、ガラスセラミックにすることも可能です。


FOTURAN® は、SCHOTT AGにより商標登録されています。
その他、詳細情報は下記をご参照ください:
http://www.schott.com/advanced_optics/japanese/products/optical-materials/thin-glass/foturan-2/index.html

ショットAGについて
ショットは、特殊ガラスやガラスセラミックの分野をリードする国際的なテクノロジーグループ企業です。ショットは130年以上にわたり、優れた研究開発や 素材と技術の専門知識をもとに、多岐にわたる高品質な製品とインテリジェントソリューションを提供しています。ショットは、家電、医薬品、エレクトロニク ス、光学、自動車ならびに航空など、さまざまな産業にイノベーションをもたらします。ショットは製品を通じてすべての人びとの暮らしのなかに息づき、イノ ベーションと持続可能な成功の実現に努めています。また、ショットは世界35ヵ国に製造・販売拠点を設置し、グローバルに事業を展開しています。現在の従 業員数は約15,000人で、2015年度の売上高は約19億3000万ユーロです。ショットグループの親会社であるショットAGは、ドイツ・マインツ市 に本社を置き、カールツァイス財団がその株式の100%を所有しています。財団所有企業であるショットは、従業員、社会、環境に対する社会的責任を重視しています。www.schott.com 
 
ショット日本について
ショット日本は、ショットグループのアジア初の販売子会社として、1966年に設立されました。結晶化ガラス、光学ガラス、薄板ガラス、管ガラスなど、 ショット製品の日本市場での販売を担当しています。主要製品のひとつセランは、その耐熱性を評価され、1977年以降、リンナイ株式会社の加熱調理機の トッププレートに採用されています。ショットグループは、2000年にNECとの合弁会社「NEC SCHOTT コンポーネンツ株式会社」を設立、日本での活動を活発化させています。http://www.schott.com/japan

▼ショット日本創立50周年記念特設サイト
http://microsites.schott.com/nippon-50years/japanese/index.html 

本件の製品販売に関するお問い合わせ先
ショット日本株式会社
アドバンスドオプティクス事業部門

電話番号: 03-5366-2491
Fax番号: 03-5366-2481


本件の報道・出版関係に関するお問い合わせ先
ショットAG 広報代理

CNC Japan 村上 樹
電話番号: 03-5156-0102
FAX番号: 03-5156-0188
Email: itsuki.murakami@cnc-communications.com
Press contact
SCHOTT AG
Dr. Jürgen Steiner
Public Relations Manager
Hattenbergstraße 10
55122 Mainz
Germany
電話: +49 6131/66-4335
お問い合わせ先
SCHOTT AG
Salvatore Ruggiero
Vice President Marketing and Communication
Hattenbergstraße 10
55122 Mainz
Germany
電話: +49 6131/66-4140
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