웨이퍼 기술

웨이퍼 기술

개념
쇼트 전자패키징사업부는 고객 주문형 마이크로 구조를 가진 웨이퍼를 주로 생산합니다. 쇼트의웨이퍼는 양면에 다양한 깊이의 관통홀, 블라인드홀, 캐비티, 채널을 가지고 있습니다. 웨이퍼는 플로팅 또는 다운 드로잉 기법으로 생산되면 다양한 특수 글라스를 사용합니다. 절단과 연마 작업 후 클린룸에서 웨이퍼 구조를 만듭니다. 샌드 블라스팅 또는 초음파 드릴링 작업이 이루어진 후 웨이퍼는 고객이 주문한 마이크로 구조를 갖추게 됩니다. 그 다음 웨이퍼는 클래스 1,000의 클린룸에서 세척 및 포장됩니다.

기술의 장점
  • 폴리머에 비해 글라스는 친수성이고 강하며 내화학성이 우수하고 열에 잘 견딥니다
  • 글라스는 실리콘에 비해 저렴하며, 실리콘 뿐만 아니라 높은 절연 및 우수한 광학 물성과 조화를 이루기 위해 최적의 CTE를 지원합니다.
  • 쇼트는 D263®, BF33®, B 270® i, AF371® 외에도 고객이 원할 경우 다양한 글라스를 공급합니다.
  • 마이크로 구조 웨이퍼는 클린룸 환경에서 생산되며 (클린룸 클래스 10,000 ISO 카테고리 7; 미연방 표준 209E; DIN EN 150 14644-1) 클래스 1,000의 클린룸에서 포장됩니다.

애플리케이션

쇼트는 다양한 글라스 타입으로 생산되는 마이크로 구조 웨이퍼를 공급합니다. 사용되는 주요 제품은 다음과 같습니다.
  • 의학 분석, 약품 시험, 산업용 모니터링, 잉크젯 프린팅 등을 위한 마이크로 유체 장치
  • 마이크로전자기계시스템 (MEMS)
  • 유기발광다이오드 (OLED)
  • 고객 주문 애플리케이션