GTMS

밀폐성

쇼트의 글라스대금속 봉인의 최고 품질 특성은 밀폐성입니다. 부품의 기능성에 매우 중요한 영향을 미치기 때문에 진공 밀폐형 글라스대금속 봉인은 지속적으로 무작위 샘플 품질 검사를 받고 있습니다. 밀폐도 시험은 질량 분석계의 원리에 따라 작동하는 헬륨 누출 탐지기를 이용해 이루어집니다.

시험 매질로 헬륨을 사용함으로써 최근의 누출 탐지기는 10-12 mbar I/s 수준의 순간 누출을 검사할 수 있습니다. 그러나 이러한 성능은 실험실 환경 하에서만 가능하며 장시간의 펌핑과 측정 싸이클이 요구됩니다.

일반 환경에서 10-8 mbar I/s 수준의 누출율은 측정할 수 있습니다. 이것이 쇼트의 글라스대금속 봉인이 10-8 mbar I/s 수준을 보증하는 이유입니다. 이 경우, 내외부의 압력 차이는 1 bar입니다. 특수한 경우나 합의에 의해 10-11 mbar I/s 수준의 누출율이 확인되고 보증될 수 있습니다. 그 이유는 일반적으로 쇼트의 글라스대금속 봉인은 이러한 낮은 누출율 기준을 충족시키기 때문입니다.

쇼트의 글라스대금속 봉인의 누출율은 비정적 환경에서 시험할 수 있습니다. 예를 들어, 고도의 용접 스트레스를 가한 상태에서 캡 용접 시험을 실시할 수 있습니다. 그런 다음 남아 있는 누출율을 측정합니다.