MEMS 패키징

마이크로전자기계 시스템 (MEMS)은 마이크로 단위의 극소형 기계 요소 또는 기계들과 관련된 기술입니다. 이들은 자동차, 항공전자산업, 바이오의학, 데이터 통신 등 다양한 분야에서 센서 및 스위치로 이용되고 있습니다.

MEMS 패키지는 MEMS 솔루션의 핵심 부품입니다. 이들은 외부의 환경으로부터 센서, 통합회로 또는 마이크로 기계 부품 등을 보호합니다.
  • 쇼트는 캐비티 패키징용 글라스 커버 디스크 뿐만 아니라 (DIPs, TO, 박막 금속 등과 같은) 캐비티 글라스대금속 봉인 패키지도 생산합니다.
  • 쇼트의 마크로 구조 웨이퍼는 의학 분석, 약물 시험, 산업 모니터링, 잉크젯 프린팅, 유기발광다이오드(OLED) 등과 같은 마이크로 유체 장치로도 사용됩니다.

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