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19.06.2012

應用於微機電系統的薄型玻璃晶圓基板
• MEMpax®具有優越性能。
• 新型硼矽酸玻璃滿足了微機電系統產業對薄玻璃晶 圓基板不斷增長的需求。

梅因茲/台北 - 2012 年 6 月 19 日- 首德今日宣佈將推出一款用 於微機電系統的新型超薄的高品質 MEMpax®硼矽酸玻璃, MEMpax®硼矽酸玻璃的厚度在 1.1 公厘以下,最薄可達 0.1 公 厘。
圖片編號 156989:MEMpax® MEMS 新一代薄型硼矽酸玻璃,表面採用火焰拋光處理,是 半導體和 MEMS 應用領域的理想選擇
圖片編號 156989:MEMpax® MEMS 新一代薄型硼矽酸玻璃,表面採用火焰拋光處理,是 半導體和 MEMS 應用領域的理想選擇
MEMpax® 硼矽酸玻璃與Borofloat ® 33有著相似的物理、熱學 和化學性能。由於製造流程的改進,MEMpax®的表面採用火焰 拋光,這是一項有益於微機電系統領域和其他超薄硼矽酸玻璃 的技術改進。

為產生超薄玻璃,首德採用了與AF32® 和 D 263® 等超薄玻 璃產品相同的生產流程。採用上述加工生產的MEMpax®,進 而會進行火焰拋光處理。這不僅能極大地提高玻璃表面質量和 原始度,還可降低加工成本。

“我們新推出的MEMpax®硼矽酸玻璃具有顯著的優勢”,首德 現代光學業務部電子與生物技術產品經理Uwe Wilkens說,“該 產品的厚度最薄可達0.1公厘,同時還擁有極高的表面品質, 是需要應用超薄硼矽酸玻璃領域的理想選擇。”

MEMpax®材料的特性使之能與矽晶圓陽極接合:在溫度和壓 力作用下,離子在矽晶片與玻璃之間產生擴散運動,最後產生 氣密性接合。 另外,由於MEMpax®的熱膨脹係數與矽晶圓一 致,玻璃-矽混合物在受熱後不會因為膨脹差異產生彎曲。

MEMpax® 含鹼量低,是一種高質量的絕緣材料。因此,該玻 璃還可用於一些要求較高的應用領域,如材料在高達攝氏450 度時仍能保持良好絕緣性能。

此外,新型MEMpax®還可應用於所有需要玻璃-矽複合物的領 域。 在這些領域,玻璃對感應器內部或者與其他部件連接的 矽晶片有著保護作用。Uwe Wilkens表示:“市場對微機電系統 元件的需求越來越大,尤其在消費電子產品產業,如手機或電 子遊戲機中的移動感應器等產業,我們認為,這些需求將促進 我們的薄型特殊玻璃產品進入到更多的應用範疇,這將是我們 的業務增長點。”

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圖片來源:首德

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首德集團是一家跨國高科技集團公司,在製造特殊玻璃和特殊材料的先進技 術領域擁有超過 125 年的豐富經驗。首德旗下許多產品在全球同類產品市場 中拔得頭籌。公司的主要業務領域為家用電器、太陽能、醫藥、光學、電 子、航空鐵路交通以及建築行業等。首德集團透過其生產基地和銷售公司同 客戶保持緊密溝通,致力於為全球客戶的成功提供一臂之力,並憑藉高品質 產品和智慧型解決方案讓首德成為人們生活中不可或缺的重要部分。首德堅 持持續發展,並大力支持員工、社會和環境的和諧發展。集團目前擁有約 17,000 名員工,2009 / 2010 會計年度全球銷售額達 29 億歐元。總部位於 德國梅因茲的首德股份有限公司是卡爾·蔡司基金會旗下的企業。

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