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11.04.2012

ショット、MEMS 産業に向けて新しい極薄ガラスウェハを投入

●様々なアプリケーションの開発に理想的なMEMpaxTM新型ホウケイ酸ガラス ●MEMS産業で増加する極薄ガラスウェハへの需要に応える
*本プレスリリースは、2012年1月24日に米国・サンフランシスコで発表された報道用資料の抄訳に国内情報を追加したものです

ドイツの特殊ガラスメーカー、ショット(SCHOTT AG、本社:ドイツ・マインツ市、取締役会議長兼CEO:ウド・ウンゲホイヤー)は、MEMpaxTM 極薄ホウケイ酸ガラスの製造に伴い、微小電気機械素子 (MEMS) テクノロジー用に、従来製品より薄型で高品質の新しいホウケイ酸ガラスを、世界市場に向けて投入すると発表いたしました。板厚ラインナップは1.1mmから0.1mmになります。日本では、ショット日本株式会社(本社:東京都新宿区、代表取締役社長:湯川愛里)を通じて販売します。

MEMpaxTM は、物理的、熱的、及び化学的特性においてBorofloat® 33に似た特長を有します。また、製造工程を改良したことにより、MEMpaxTM では精密な研磨を施した表面仕上げが可能となり、MEMSと超薄型のホウケイ酸ガラスを利用するその他の分野において、その利用価値から大きく発展させる可能性を秘めています。

ウェハ仕様の薄さでガラスを成型するにあたり、ショットはAF32TM や D 263TM などの極薄板ガラスを生産する工程を取り入れています。こうして作りだされたMEMpaxTM は、高品質で、きれいなファイアーポリッシュ(火造り)面を有しており、その後の加工コストも抑えられるようになります。

ショット アドバンスド オプティクスのエレクトロニクス & バイオテック製品マネージャ、ウベ・ウィルケンスは、「我々が新規に開発した MEMpaxTM ホウケイ酸ガラスは、市場において非常に有利だ」と述べ、さらに「提供できる板厚のレンジが0.1mmの薄さにまで及ぶことと、その非常に優れた表面の品質から、この製品は、極薄のホオウケイ酸ガラスを必要とする分野での利用に理想的である」と付け加えました。

MEMpaxTM の持つ材質特性により、シリコンウェハとの陽極結合が可能となります。温度と圧力の影響下にさらすと、イオンはシリコン材とガラス材の間で拡散し、これにより密封結合がもたらされます。さらに、MEMpaxTM の熱膨張係数はシリコンのそれと同等なので、ガラスとシリコンを合成したこの製品を熱にさらした場合でも、膨張差による曲がりが発生しません。

また、アルカリ含有量の低いMEMpaxTM は、高品質の絶縁体の役割も果たします。このため、このガラスは、最大450℃の温度において高い誘電特性が求められるアプリケーションにも適しています。

新しいMEMpaxTM は、ガラスとシリコンの化合物を活用する全ての分野で利用できます。ガラスはセンサー内部のシリコンウェハを保護するとともに、様々なコンポーネントを接続する機能を果たします。ウベ・ウィルケンスは、「MEMSコンポーネントの需要は、特に携帯電話のモーションセンサーやテレビゲームのコントローラなど、家庭用電化製品の分野において伸び続けている。我々が生産する薄型特殊ガラスは暮らしに身近な電化製品において将来多くの新たなアプリケーションの登場を可能にすることから、この分野が我々の重要な事業拡大域であると考えている」と述べています。

なお、昨日より開催されている第22回ファインテック ジャパンにおいて、ショットは、BG60とBG61という2種類の色ガラスフィルターを発表いたしました。これらのブルーガラス(BG)フィルターは、耐候性(耐熱性と耐湿性)に優れており、デジタルカメラをはじめとする、画像センサーを使用するアプリケーションで可視光線中の赤外線を遮断するのに適しています。

ショットについて:
ショットは、特殊ガラス・材料、先進技術分野で125年以上の歴史を有する国際技術グループ企業です。当社は多くの製品分野で世界No.1の企業として評価されています。事業の中核を担う市場としては、家庭用電化製品、太陽光発電、医薬品、電子機器、光学機器、輸送、建設の各業界があげられます。当社は、お客様の成功に貢献すること、そして高品質製品と高機能ソリューションを通じて人々の生活に欠かせない存在となることを目指しています。また持続可能な方法により事業を管理し、従業員と社会、環境への支援に努めています。当グループは、全ての主要市場に製造・販売施設を所有し、お客様との密接な関係を保っています。当社では、約17,000人の従業員が勤務しており、2011年度には、全世界で約29億ユーロの売上高を計上しました。マインツ(ドイツ)に本社を構えるショット社は、カールツァイス財団の傘下企業です。

ショット日本について:
ショット日本は、ショットグループのアジア初の販売子会社として、1966年に設立されました。今日に至るまでの45年間、ショット日本はショット製品の日本市場での販売を担当しています。主要製品は結晶化ガラス、光学ガラス、薄板ガラスおよびタッチパネル用カバーガラスなどです。ショットの主要製品のひとつセラン ガラスは、その耐熱性を評価され、1977年以降、リンナイ株式会社の加熱調理機のトッププレートに採用されています。2000年には、NECとの合弁会社である「NEC SCHOTTコンポーネンツ株式会社」を設立、2010年には内外硝子工業との合弁会社「ショットナイガイ株式会社」を設立、さらに株式会社モリテックスの株式の大量取得など、ショットは日本での活動を活発化させています。

印刷向け画質の写真のZIPファイルは以下のリンクからダウンロードできます。
http://www.schott-pictures.net/presskit/156455.mempax

画像番号156989】 ファイアーポリッシュ(火造り)面を有する新型MEMpaxTM ホウケイ酸ガラスは、半導体とMEMSアプリケーションに最適です。出典:ショット

他の広報用の写真は、以下よりダウンロードできます。
www.schott-pictures.net

YouTube: http://www.youtube.com/watch?v=ngNqcaqaQx8

【本資料に関する報道関係者のお問合せ先】
SCHOTT AG
Christine Fuhr
PR Manager/Corporate Public Relations
Office: +49 (0)6131/66-4550
Fax: +49 (0)6131/66-4041
christine.fuhr@schott.com
www.schott.com


SCHOTT AG 広報事務局(MSL JAPAN内)
担当: 高田俊宗
Tel : +81(0)3-5719-8901
Email : toshimune.takada@msljapan.com
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