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超薄板ガラス

機械特性

機械特性
D 263® T eco
AF 32® eco
密度 2.51 g/cm3 2.43 g/cm3
ヌープ硬度 470 @ 0.1/20 580 @ 0.1/20
ヤング率 72.9 KN/mm2 74.8 KN/mm2

熱的特性

熱的特性
D 263® T eco
AF 32® eco
Tg 557 °C 717 °C
CTE (20 °C – 300 °C) 7.2 10 –6 · K–1 3.2 10 –6 · K–1
熱伝導度 1.06 W/mK @ 90 °C 1.16 W/mK @ 90 °C

電気特性

電気特性
D 263® T eco
AF 32® eco
誘電率 εr 6.7 @ 1 MHz
6.4 @ 1 GHz
6.3 @ 5 GHz
5.1 @ 1 MHz
5.1 @ 1 GHz
5.1 @ 5 GHz
誘電正接(散逸係数) tan δ
0.006 @ 1 MHz
0.007 @ 1 GHz
0.010 @ 5 GHz
0.003 @ 1 MHz
0.004 @ 1 GHz
0.005 @ 5 GHz

化学特性

化学特性
D 263® T eco
AF 32® eco
ガラス種 ホウケイ酸 アルミノホウケイ酸
耐水性 HGB 1 HGB 1
耐酸性 S2 S4
耐アルカリ性 A2 A3
アルカリフリー

超薄板ガラス加工能力の例 (開発中)

 

レーザまたはパウダーブラスト法による加工 
ビアまたは微小チャネルの形成

Laserstrukturierung von SCHOTT AF 32® eco
例: SCHOTT AF 32® ecoのレーザによる加工,
板厚100 μm , ビア直径: 30 μm, ピッチ: 50 μm
 
化学強化
 

化学強化により D 263® T eco の端面強度は4倍に高めることができます

キャリア ソリューション
 
ショットは、半導体業界で標準的な、超薄板ガラスをキャリアウェハ上に接着層で仮貼り合せすることにより搬送する技術を提供できる装置メーカをご紹介することができます

ショットは超薄板ガラスをキャリアウェハ上に接着層無しで仮貼り合せすることにより搬送する技術を開発しています
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