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MEMpax®

超薄板ホウケイ酸ガラス

ショットのMEMpax®はファイヤーポリッシュ表面仕上げのホウケイ酸ガラスで、ショットTEMPAX Float®と同様の化学的・物理的特徴を有しています。

MEMpax®は、より薄い形状の製品を揃えており、優れた表面品質を持つため、研削や研磨を必要としない薄板ウエハーとして使うことができます。ショットMEMpax®は、極薄ホウケイ酸ガラスが必要とされるさまざまな用途に適しています。

MEMpax®はシリコンと同等の線形熱膨張係数を持ち、陽極接合に最適です。低自己蛍光、優れた表面品質、平坦性、均質性の組み合わせが、MEMS(微小電気機械システム)やバイオテクノロジーにおける数多くのアプリケーションの可能性を広げます。