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FOTURAN® II

FOTURAN® II の供給形態:
ウェハ形状 寸法 *
円形 6"
8"
12" (準備中)
方形 93 x 93 mm
130 x 130 mm
150 x 150 mm
175 x 175 mm
サンプルキット 93 x 93 x 0.5 mm 1p
6 インチ0.5 mm T ウェハ1p
* 標準板厚:0.5/ 0.7/ 1.0 / 1.3 mm
上記以外の形状に関しては、ご相談下さい
加工後形状精度(代表値)**
穴加工内壁の表面粗さ 1–3 μm
非露光領域の表面粗さ < 5 nm
最大穴形成密度 (holes / cm²) 10,000
穴間距離のばらつき (per 100 mm) < ± 0.3 %
(100 mm ± 300 μm)
** 掲載値は、ショットの標準工程条件で加工した場合の代表値であり、加工条件に
よって変動しますので、加工後形状を保証するものではありません。
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