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MEMpax®

ULTRADÜNNES BOROSILIKATGLAS

MEMpax® ist ein Borosilikatglas mit feuerpolierter Oberfläche. Es hat ähnliche chemische und physikalische Eigenschaften wie das bekannte SCHOTT Borofloat® 33.

Dabei ist MEMpax® aber in viel geringeren Dicken erhältlich und ermöglicht dünne Wafer, die dank der hervorragenden Oberflächenqualität nicht mehr geschliffen und poliert werden müssen. MEMpax® kann überall da eingesetzt werden, wo extrem dünne Borosilikatgläser benötigt werden.

Der lineare Wärmeausdehnungskoeffizient von MEMpax® entspricht dem von Silizium, daher ist dieses Glas hervorragend für das anodische Bonden geeignet. Seine niedrige Autofluoreszenz in Verbindung mit seiner hervorragenden Oberflächenqualität, Planität und Homogenität eröffnet für MEMpax® zahlreiche Einsatzmöglichkeiten in MEMS-und Biotechnologie.

Dank seines geringen Alkaligehalts wirkt MEMpax® als hochwertiger Isolator. Aus diesem Grund ist MEMpax® ein äußerst geeignetes Material für Anwendungen, die nicht-leitende Eigenschaften bei hohen Temperaturen benötigen (bis 450 °C).