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FOTURAN® II

FOTOSENSIBLE GLASWAFER

FOTURAN® II ist die verbesserte Version des bekannten fotosensiblen Glases FOTURAN®, welches nun in einem kontinuierlichen Schmelzprozess mit optimaler Homogenität hergestellt wird.

FOTURAN® II ist ein technisches Glas, das nach UV-Belichtung und Temperaturprozessen kristallisiert. Die kristallisierten Bereiche können mit einem hohen Aspektverhältnis geätzt werden, sodass sehr feine Strukturen und Bohrungen erzeugt werden können. Nach einem optionalen zweiten Belichtungs- und Temperungsschritt kann das Glas in eine Glaskeramik umgewandelt werden. Auch anodisches Bonden ist möglich.

Strukturierte FOTURAN®-Substrate können in Standardverfahren für Fertigung und „Packaging“ von Halbleiter-Chips eingesetzt werden. Die Strukturierung funktioniert ohne Einsatz von Fotolacken und ist mit Standardausrüstung der Halbleiterindustrie möglich.