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LITHOSIL^® Synthetisches Quarzglas

Produktinformationen

Hochwertiges synthetisches Quarzglas der Marke LITHOSIL® bietet herausragende optische Eigenschaften und eignet sich besonders für die hoch anspruchsvollen Anwendungen in der optischen Industrie. Die verschiedenen Qualitäten (Gütestufen Q0, Q1, Q2, QT) können an praktisch alle speziellen Kundenanforderungen – von NIR (IR) bis DUV – angepasst werden. Synthetisches Quarzglas der Marke LITHOSIL® von SCHOTT LITHOTEC bietet folgende herausragenden Eigenschaften: Freiheit von Einschlüssen und Blasen (Güte Q0 und Q1) Exzellente UV-Durchlässigkeit von 185 nm bis 2,5 µm Hohe Laserfestigkeit Hohe Brechzahlhomogenität: Zusätzliche 3D-Option Hohe Temperaturbeständigkeit Geringe Spannungsdoppelbrechung Sehr niedriger thermischer Ausdehnungskoeffizient Sehr geringe Fluoreszenz

Eigenschaften

Das amorphe synthetische Quarzglas der Reihe LITHOSIL® ist besonders rein und komplettiert die Anwendungsbereiche optischer Materialien von DUV bis IR mit einer sehr guten Durchlässigkeit von 185 nm bis 2,5 µm.

Anwendungen

Quarzglas wird häufig eingesetzt in Lithografischen/mikrolithografischen Anwendungen: Stepperlinsen, unbelichtete Fotomasken DUV-Laserkomponenten Standard-Optiken Excimer-Laseroptiken Lithografieoptiken Strahlführungen Hohllichtleitern Laserfusion technischen Anwendungen

Lieferformen

SCHOTT LITHOTEC bietet LITHOSIL®-Komponenten und -Blanks in verschiedenen Güten und verschiedenen Oberflächenausführungen (unbearbeitet, zugerichtet, geschliffen oder poliert) an, die sich nach den individuellen Anforderungen des Kunden richten.

Spezifikationen

Gütestufen:: Die verschiedenen Materialgüten zeichnen sich in funktioneller Hinsicht aus durch: Extrem wenige Einschlüsse / Blasen Geringe Schwankung der Brechzahl und geringe lokale Inhomogenitäten, vor allem Schlieren Gütestufen für Excimer-Laser:: Excimer-Laseroptiken erfordern Quarzglas mit folgenden, herausragenden Eigenschaften: Hohe Reintransmission, breiter UV-Spektralbereich Sehr geringe Fluoreszenz (qualifiziert durch laserinduzierte Fluoreszenz bei 193 nm) LITHOSIL® Q0 and Q1 ist in Excimer-Güte erhältlich 3D-Material Brechzahlhomogenität in Abhängigkeit von der Geometrie in allen drei Dimensionen qualifiziert Verfügbar in Gütestufe LITHOSIL® Q0 3D-Material ist auf Nachfrage erhältlich

Qualitätssicherung

SCHOTT LITHOTEC bietet Quarzgläser mit 100%iger Kontrolle auf Homogenität, spannungsinduzierte Doppelbrechung, Schlieren, Blasen und Einschlüsse. Brechzahl, Durchlässigkeit, laserinduzierte Fluoreszenz, Spurenelemente und OH-Gehalt unterliegen einer statistischen Kontrolle. Qualitätsstufen: Q0: Zeichnet sich aus durch eine sehr hohe optische Homogenität in allen drei Raumrichtungen. Material dieser Güte ist in jeder Funktionsrichtung frei von Schlieren und wird empfohlen, wenn in optischen Komponenten wie Prismen oder Linsen sehr hohe Anforderungen an die Auflösung gestellt werden. Q1: Besitzt eine hohe Homogenität und ist in der Funktionsrichtung frei von Schlieren. Als Beispiele typischer Anwendungen können optische Elemente wie Linsen, Fenster und Wafer genannt werden. Q2: Ist hinsichtlich der Homogenität nicht spezifiziert. Diese Gütestufe wird empfohlen für Optiken im sichtbaren Spektralbereich oder Optiken im UV-Bereich mit weniger strengen Anforderungen an die Transmission. QT: Ist hinsichtlich Homogenität und Schlieren nicht spezifiziert. Diese Gütestufe wird für technische Anwendungen empfohlen.