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Kalziumfluoridkristalle
Produktinformationen
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Kalziumfluoridkristalle, die aus reinsten (synthetischen) Ausgangsstoffen gezüchtet werden, finden in Belichtungs- und Projektionsoptiken in 248 nm, 193 nm und 193 nm Immersionsmikrolithografie-/ Mikrolithografie-Techniken und Laseranwendungen Einsatz.
Eigenschaften
Kalziumfluoridkristalle komplettieren das Anwendungsspektrum optischer Materialien von VUV bis IR mit einer sehr guten Transmission im Bereich 130 nm bis 9 µm aufgrund ihrer:
- hohen Qualität als Projektionsoptiken
- hohen Produktionszahlen
- hohen Reinheit
- hohen Laserfestigkeit
- hohen Brechzahlhomogenität
- ausgezeichneten UV-Durchlässigkeit
- geringen Spannungsdoppelbrechung
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Anwendungen
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Der extrem hohe Schwellwert für laserverursachte Schäden macht Kalziumfluoridkristalle zum Material der Wahl für:
- Excimer-Laseroptiken
- Strahlführungen
- Belichtungssysteme, die im 45 nm-Bereich arbeiten
- Optische Systeme in Lithografie, Astronomie, Fotografie, HDTV-Zoomlinsen, Mikroskopie
- Sensoren (insbesondere im IR-Spektrum)
- Spektrometer
- Medizinische Laser
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Lieferformen
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SCHOTT LITHOTEC fertigt Kalziumfluorid-Komponenten und -Blanks mit verschiedenen Kristallanordnungen (<111>, <100>, ungeordnet, weitere auf Anfrage) in verschiedenen Oberflächengüten (unbearbeitet, zugerichtet, geschliffen oder poliert), die sich nach den individuellen Anforderungen des Kunden richten.
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Spezifikationen
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SCHOTT LITHOTEC verfügt über die nötige Erfahrung und das Know-how für die Fertigung von CaF2-Blanks in Durchmessern bis zu 350 mm und Dicken von mehr als 100 mm mit höchsten Transmissionswerten von 130 nm bis 9 µm (abhängig von der Bauteildicke).
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Qualitätssicherung
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Die innere Qualität wird zu 100 % kontrolliert. Dazu gehört die Untersuchung auf spannungsinduzierte Doppelbrechung, Schlieren, Blasen und Einschlüsse, Streuung, Laserfestigkeit, und Durchlässigkeit.
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Kontakt
SCHOTT AG
Division
SCHOTT LITHOTEC
Otto-Schott-Str.13 07745 Jena Deutschland
 | +49 (0)3641/6812-201 |
 | +49 (0)3641/6812-202 |
E-Mail
weitere Kontakte
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