Lithographie

Industrielle Anwendungen & Lithografie - SCHOTT Advanced Optics

Kleiner Stepper, großer Schritt


Mit diesen Steppern lässt sich kein Gewicht abbauen. Aber die Zukunft gestalten. Chips. Mikrochips. Oder besser: Nano. Denn Mikro war gestern. Und kleiner ist dabei Programm. Und besser natürlich auch.

Die sogenannten Stepper sind bei der Herstellung von Chips (integrierte elektronische Schaltkreise) ebenso eine Schüsselkomponente wie Kartoffeln für den gleichnamigen Sofa-Snack. Ausgewählte optische Glastypen, die unter anderem eine hohe UV-Durchlässigkeit aufweisen, eignen sich besonders für den Einsatz in Belichtungssystemen und Projektionslinsen in Steppern. Die ähneln von der Funktion her einem überdimensionalen Diaprojektor. Die Strukturen des „Dias“ werden aber extrem verkleinert und auf die mit Photolack beschichteten Silizium-Scheiben übertragen. Der Vorgang wird mehrmals wiederholt, bis die komplexe Struktur eines Schaltkreises vollständig ist. Die fotolithografische Strukturierung einer Fotolackschicht ist in der Halbleitertechnik einer der wichtigsten Teilprozesse der komplexen Herstellung von integrierten Schaltkreisen. Fertig ist der Wafer, was übersetzt Waffel heißt.

Je älter, desto besser

Faszinierend dick

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