Lithographie

Typische Anwendungen
Dank seines äußerst niedrigen thermischen Ausdehnungskoeffizienten (CTE) kommt ZERODUR® häufig als Schlüsselkomponente in Steppern, wie z.B. als Waferhalter, Halter für Präzisionsnormale oder Spiegel, zum Einsatz.