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MEMpax®

超薄硼硅酸盐玻璃

SCHOTT MEMpax® 是一款采用火焰磨光面制造的硼硅酸盐玻璃,具有与肖特公司的著名产品Borofloat® 33类似的化学和物理特性。

同时,MEMpax®的厚度较小,并能以其卓越的表面质量,提供不再需要研磨和抛光的薄晶圆。

MEMpax®的线性热膨胀系数与硅一致,这款玻璃完美适用于阳极键合。该产品的自发荧光较低,并结合了卓越的表面质量、平直度和均匀性,为MEMpax®提供了微电子机械系统(MEMS)和生物技术领域应用的多种可能性。