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FOTURAN® II

FOTURAN® II 供货规格:
供应规格 尺寸*
圆形 (晶圆) 6"
8"
12" (准备中)
方形 (衬底) 93 x 93 mm
130 x 130 mm
150 x 150 mm
175 x 175 mm
FOTURAN® 样品套装 包括一块93 x 93 x 0.5mm 块
体和一块6“ x 0.5mm 晶圆
* 每种尺寸对应的标准厚度: 0.5/ 0.7/ 1.0 / 1.3 mm
根据客户要求可提供其他尺寸和厚度
典型后续加工精度**
刻蚀后结构内表面的粗糙度 1–3 μm
非曝光区域的表面粗糙度 < 5 nm
最大孔密度 (孔数量 / cm²) 10,000
孔间距的公差 (每100 mm) < ± 0.3 %
(100 mm ± 300 μm)
** 数据基于SCHOTT标准加工工艺参数。上述数据供参考,不保证该限定范围,
依据不同的加工参数可发生相应变化。
改动
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