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FOTURAN™ II

光敏玻璃晶圆

FOTURAN™ II 光敏玻璃是由FOTURANTM 改进而来。该玻璃采用连熔法生产,具有极佳的质量均一性。

FOTURAN™ II 是一款技术光敏玻璃。该光敏玻璃经过紫外曝光以及热处理后会析出晶体,这些析晶区域在酸腐蚀之后可以形成高深宽比的细小结构和通孔。再经过二次曝光和热处理,玻璃基体可以发生相变形成玻璃陶瓷。此外,阳极键合对该款玻璃也是可能的。

带结构的FOTURAN™ II 材料可以应用于半导体芯片和半导体封装工艺。该工艺流程只需要标准的半导体加工设备即可,不再需要使用光刻胶。