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i-line 产品

产品简介

i-line Products

i-line 光学玻璃是在365纳米具有高紫外线透过率和高折射率均一性的光学玻璃。

我们的优势

肖特光刻技术供应的 i-line 玻璃具备以下突出特性:
  • 高折射率的均一性(在直径为200mm时<0.5ppm)
  • 杰出的内部品质
  • 良好的退火工艺保证了应力双折射率降至可以忽略的微小数值
  • 每批材料的绝对折射率数值误差小于5 x 10-5的标准
  • 从 FK5HT 到 F14 HT 广泛的高透过率玻璃类型确保了光学设计的高度灵活性


主要应用

i-line 玻璃被广泛应用于以下领域:
  • i-line晶圆光刻机和扫描仪的投影物镜和照明系统
  • 在紫外区域需要高透过率的标准光学应用


供货形式

肖特 光刻技术 提供的 i-line 玻璃:
如您对由此材料制成的高精密光学元件感兴趣,请点击以下链接,或与我们联络。光学加工与元件

品质保证

肖特 光刻技术 通过对均匀度、应力双折射、条纹、气泡和杂质等方面的100%控制来保证 i-line 玻璃的卓越品质,并对折射率和透过率进行统计控制。

业务联系

SCHOTT AG

Hattenbergstrasse 10
55122 Mainz
Germany
 +49 (0)6131/66-0
 +49 (0)6131/66-2000
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