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i-line 产品
产品简介
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i-line 光学玻璃是在365纳米具有高紫外线透过率和高折射率均一性的光学玻璃。
我们的优势
肖特光刻技术供应的 i-line 玻璃具备以下突出特性：
- 高折射率的均一性(在直径为200mm时<0.5ppm)
- 杰出的内部品质
- 良好的退火工艺保证了应力双折射率降至可以忽略的微小数值
- 每批材料的绝对折射率数值误差小于5 x 10-5的标准
- 从 FK5HT 到 F14 HT 广泛的高透过率玻璃类型确保了光学设计的高度灵活性
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主要应用
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i-line 玻璃被广泛应用于以下领域：
- i-line晶圆光刻机和扫描仪的投影物镜和照明系统
- 在紫外区域需要高透过率的标准光学应用
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供货形式
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肖特 光刻技术 提供的 i-line 玻璃：
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品质保证
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肖特 光刻技术 通过对均匀度、应力双折射、条纹、气泡和杂质等方面的100％控制来保证 i-line 玻璃的卓越品质，并对折射率和透过率进行统计控制。
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业务联系
SCHOTT AG
Hattenbergstrasse 10 55122 Mainz Germany
 | +49 (0)6131/66-0 |
 | +49 (0)6131/66-2000 |
电子邮件
更多联系方式
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