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熔融石英 LITHOSIL®

产品简介

Fused Silica LITHOSIL

优质的合成熔融石英LITHOSIL®具备极佳的光学性能，尤其适用于光学领域中的高端应用。不同的质量等级（供货等级分为 Q0, Q1, Q2 和 QT）可以满足不同客户从近红外 (红外) 到深紫外的各种需求。

肖特 LITHOTEC ® 生产的合成熔融石英具有以下的卓越特性：
  • 不含气泡和杂质（对应于等级 Q0 、 Q1）
  • 在185 纳米到 2.5 微米 的范围内具有极佳的紫外光透光率
  • 极佳的耐激光损伤特性
  • 高折射率均匀性：附加三维选项
  • 高温度稳定性
  • 低应力双折射
  • 极低的热膨胀系数
  • 极低的荧光诱导特性


我们的优势

高纯度的无定形合成熔融石英 LITHOSIL® 完善了光学材料从深紫外 到红外的应用范围，在185 纳米到 2.5 微米 的范围内极佳的透光性。

主要应用

熔融石英被广泛用于以下领域：
  • 微光刻应用：光刻机透镜，光掩模基板
  • 深紫外 激光元件
  • 光学标准件
  • 准分子激光光学元件
  • 光刻光学元件
  • 光束传输元件
  • 灯管光导
  • 激光核聚变
  • 各种技术应用


供货形式

肖特 LITHOTEC® 可以按客户要求供应具有不同表面质量（未加工、切割、研磨或抛光）的各种质量等级的 LITHOSIL® 元件和坯料。

如您对由此材料制成的高精密光学元件感兴趣，请点击以下链接，或与我们联络。光学加工与元件
特性

等级：
不同的材料等级在作用方向上具有以下特点：
  • 极低的气泡杂质等级
  • 较低的折射率变化量和局部不均匀性等级（尤指条纹度）
准分子激光应用等级：
准分子激光光学需要使用具备以下卓越特性的熔融石英：
  • 高度内部透过率和较宽的紫外光谱范围
  • 超低荧光诱导特性（通过 193 纳米激光诱导性荧光检验）
    肖特的LITHOSIL® Q0 和 Q1级别可以提供相应的准分子激光应用等级
三维材料
  • 依据几何形状，可确保三个维度的折射率均匀性指标
  • LITHOSIL ® Q0 等级可以满足相应要求
  • 三维材料可按需求相应提供


品质保证

肖特 LITHOTEC ®所供应的熔融石英在均匀性、应力双折射、条纹度、气泡和杂质含量等各方面均经过全方位的严格控制。我们采用统计的方法来控制折射率、透过率、激光诱导荧光、追踪元件以及OH-含量。

质量等级：
  • Q0：具有超高的三维光学均匀性。任何作用方向上均无条纹，推荐应用于对分辨率要求极高的棱镜和透镜等光学元件中。
  • Q1：均匀性极高，作用方向上无条纹。主要应用于透镜、窗口以及和晶圆基片等光学元件。
  • Q2：不指明均匀性。建议用于可见光谱范围内的光学元件或对透光性要求不高的紫外线光学应用中。
  • QT：不指明均匀性、条纹度指标。建议用于一般技术应用。


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